فئات المنتجات

اتصل بنا

  • إذا كانت لديك أسئلة، يرجى الاتصال بنا، وسيتم الرد على جميع الأسئلة
  • البريد الإلكتروني : [email protected]
  • البريد الإلكتروني : [email protected]
  • إضافة : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
المنتجات
PECVD Tube Furnace

درجة حرارة منطقة واحدة صغيرة انزلاق الفرن أنبوب pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-SlidingPEC
  • الدفع:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
  • الاتصال الآن
تفاصيل المنتج

مصغرة منطقة واحدة درجة الحرارة انزلاق pecvd


tmax1200-ق-ح-PECVD النظام هو تتألف من tl1200 فراغ أنبوب الفرن ، غرفة فراغ الكوارتز ، rf امدادات الطاقة ، نظام إمداد الغاز gx ، نظام الضخ ونظام قياس الفراغ.

الخصائص الرئيسية:

1. الغاز في يتم تغيير غرفة فراغ الكوارتز إلى الحالة الأيونية عن طريق إمدادات الطاقة RF.

2. pecvd هو أقل من cvd العادي لترسيب البخار الكيميائي.

3. ضغوط يمكن السيطرة على الأفلام المودعة بواسطة تردد إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية.

4. pecvd ديه ارتفاع معدل ترسب ، التوحيد الجيد ، والاتساق والاستقرار من المعتاد الأمراض القلبية الوعائية.

5. تستخدم على نطاق واسع في نمو مختلف الأفلام ، مثل siox ، sinx ، sioxny وغير المتبلور السيليكون (a-si: h) ، إلخ.

تقنية نظام tmax1200-s-h-pecvd لعنصر تسخين الأسلاك المقاومة kanthal السويدية ، باستخدام هيكل قذيفة مزدوجة و 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة الجدول ، مرحلة التحول الزناد ، تحكم الثايرستور ، الفرن باستخدام الكريستالات مادة الألياف الألومينا ، يمكن الفولاذ المقاوم للصدأ شفة الختم على طرفي أنبوب الفرن ، تركيب شفة الفولاذ المقاوم للصدأ لها الفم ، صمام و قياس الضغط ، فراغ ، درجة فراغ يمكن أن تصل إلى 10-3 سنويا ، مجال درجة حرارة منخفضة موازنة ، درجة حرارة السطح ، رفع معدل درجة الحرارة ، توفير الطاقة ، السعر تنازلات ، الخ

1. kanthal سلك المقاومة a1 من السويد

KANTHAL a1 الأصلي سلك المقاومة الصينية فرن سلك مقابل   المستوردة سلك المقاومة الفرن

(1) ، ارتفاع درجة حرارة السطح يمكن أن تصل إلى 1420

(2) السطح هو الفولاذ المقاوم للصدأ (مشرق للغاية ، العميل يجب الانتباه إلى ذلك) ، فإنه لن الصدأ ، ولن يسقط وقت الاستخدام قبالة الخبث.

(3) يتم تنزيل بيانات سلك مقاومة kanthal

(4) موقع سلك مقاومة kanthal: www.kanthal.com

(5) المقاومة متوازنة ومجال درجة الحرارة جيد على قدم المساواة

معظم الشركات المصنعة تستخدم سبائك الحديد كروية مخدر بواسطة مو سلك المقاومة ، والتي

في بعض الأحيان تكون المقاومة غير متساوية وجزء من الحرارة صغير                                           KANTHAL a1 المقاومة موحدة ومتوازنة الحرارة ، حقل درجة حرارة جيدة                                                                                                                                                                       تأثير

2. تركيب الهواء التبديل و تسرب حامي:

عندما يكون التيار الكهربائي أو التسرب ، اجتماع فارغ قطع الاتصال تلقائيا.

3. يمكن الاتصال مع الكمبيوتر

تم تجهيز هذا الفرن مع واجهة الاتصالات و البرنامج ، يمكن أن يكون مباشرة من خلال التحكم في الفرن الكمبيوتر من كل المعلمة ، ويمكن ملاحظتها من الكهروضوئية الكمبيوتر على الموقد و sv قيمة درجة الحرارة وتشغيل الصك ، ودرجة الحرارة الفعلية لل منحنى الفرن رسم الكمبيوتر في الوقت الحقيقي ، ويمكن الحفاظ على بيانات درجة حرارة في كل مرة ، يمكن الاتصال في أي وقت

4. غرفة

(1 ) جودة عالية عالية الألومينا نقية الكريستالات فرن الشفاء من الألياف مع شفط فراغ وصب مرشح.

(2). اعتماد التكنولوجيا اليابانية لتشكيل.

(3). التباعد ونبرة سلك المقاومة في الفرن يتم ترتيبها وفقا لأفضل التكنولوجيا الحرارية في اليابان ، و يتم محاكاة مجال درجة الحرارة عن طريق البرامج الحرارية

(4). باستخدام 4 أسابيع التدفئة ، ودرجة الحرارة أكثر توازنا

5. المجاهدين اختياري لوح كهربائي معتمد (كل ذلك من خلال شهادة ul المستوردة الأجهزة الكهربائية)

6. الزناد

لينة بداية الزناد الحد الحالي                           تستخدم معظم الشركات المصنعة مشغلات bode شيامن غير الحد

1 مرحلة التحول الزناد (مع بداية لينة والحد الحالي وظيفة)

2. وظيفة الحد الحالي بغض النظر عن كيفية ضبط التدفئة الوقت نحن الفرن الكهربائي بعد يقتصر الحالي محول الثانوية ل 170a أو أقل حماية محدودة من المعدات. غير محدود الزناد إذا يتم تعيين معدل التدفئة بشكل غير صحيح أو سريع للغاية. الحالية المنخفضة الحالية هي جدا كبير سوف الجهاز رحلة أو يحترق.

3 بداية لينة وظيفة الحالية سوف تزيد ببطء الحالي تأثير عنصر التدفئة صغير يفضي إلى تمديد حياة عنصر التدفئة

4 - وظيفة الحماية إذا كان التيار يتجاوز الحد الحالية سوف الزناد تلقائيا قطع وظيفة الزناد لقطع فرن الحماية الحالي.

7. المجاهدين محول معتمد

1 - كابل محول نقي نحاس

2 صوت المحولات الصغيرة

3 درجة حرارة المحولات منخفض

8. مجموعة متنوعة من الخيارات لاختيار مجموعة متنوعة من الشفاه (القطر من 25 إلى 250 مم)

نموذج

TMAX-1200-slidingpecvd1

TMAX-1200-slidingpecvd2

قوة

1.5KW

الة النفخ   بحجم

dia25 (OD) x1250mm

dia50 (OD) x1250mm

شاملة   أبعاد (lxdxh)

1800x410x610

1800x460x660

ال   امدادات الطاقة الجهد

220   الخامس

الانزلاق   المواد الحديدية

304   الفولاذ المقاوم للصدأ

انزلاق   الوضع

غير القابل للصدأ   تحمل الصلب المتداول

رقم   المرحلة

غير مرتبطة   مرحلة

تدفئة   جزء

استيراد   الكانتون السويدي a1 سلك المقاومة انقر في تنزيل البيانات

وضع التحكم

باستخدام يو الكهربائية ترمومتر التحكم في البرنامج (قياسي)
1. 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة تعديل PID ذكي.
2. يمكن قطع دائرة التسخين للفرن الكهربائي تلقائيًا   عندما تم حمايتها من قبل دافئة أو مكسورة عن طريق الخطأ. (عند الفرن   درجة الحرارة تتجاوز 1200 درجة أو كسر الحرارية ، تتابع التيار المتردد   على الدائرة الرئيسية سيتم قطع الاتصال تلقائيا ، الدائرة الرئيسية هي   مكسورة ، الضوء على لوحة خارج ، قبالة الضوء ، واقية محدودة   الفرن الكهربائي.
3. مع 485 واجهة الاتصالات (قياسي ومعيار للاختيار   البرمجيات)
4. لديه وظيفة حماية انقطاع التيار الكهربائي ، وهذا هو ، عندما السلطة   متوقف ، البرنامج لن يبدأ من درجة حرارة البداية ، ولكن   سوف يبدأ الفرن بالارتفاع عند انقطاع التيار الكهربائي.
الصك لديه وظيفة ضبط درجة الحرارة الذاتي


(لاستبدال الأداة المستوردة ، نحتاج إلى دفع رسوم أخرى.)

fp93 التحكم في درجة الحرارة الجدول الأوروبي   صك لمس الشاشة

(shimaden)

ال   وضع التحكم في درجة الحرارة

معرف المنتج

كسر   حتى الحماية والعرض

نعم

على   حماية درجة الحرارة

نعم

على   الحماية الحالية

نعم

مراقبة   الاحكام

+   / - 1

ال   اثار

مرحلة   تحول الزناد

الكهرباء   الأجهزة

تشجيانغ   CHINT

السيليكون   مقوم مضبوط

106 / 16E   بوابة الغرب ، ألمانيا

ال   أعلى درجة حرارة

درجة الحرارة   المنطقة 1: 1200 درجة حرارة المنطقة 2: 1200

ال   درجة الحرارة في التصنيف

درجة الحرارة   المنطقة 1: 1100 درجة حرارة المنطقة 2: 1100

تدفئة   معدل

ال   20 / دقيقة أو أقل (يمكن تعديل   وفقا لمتطلبات )

موصى به   معدل التسخين

10 / دقيقة أو ليه س

نموذج   من الحرارية

مناطق   1: نطاق درجة حرارة k نوع 2: k نوع

تدفئة   الطول

مناطق   1: نطاق درجة حرارة 200 ملم. 2: 200 ملم

الكهرباء   شهادة

م

المحيط   الحرارة السطحية

45 أو ليه س

الترددات اللاسلكية   مزود الطاقة

(بلازما   مولد كهرباء)

قوة   مجموعة الانتاج

0-500   ث

أقصى   السلطة المنعكسة

200   ث.

العمل   تكرر

الترددات اللاسلكية:   13.56 ميجا هرتز زائد أو ناقص 0.005٪

قوة   المزيد

+   / - 0.1 ٪

متناسق   مكون

-   50 ديسيبل أو أقل

الترددات اللاسلكية   عرض

0-600   - مم قابل للتعديل

مطابقة   الوضع

تلقائي

تبريد   الوضع

هواء   البرد

الضوضاء

ال   العلامة & lt؛ 50 ديسيبل

ال   واجهة تردد الراديو

50   Ω ن - النوع

إدخال   قوة

208-240   - الخامس 50/60 هرتز

الأساسية   معلمات نظام امدادات الغاز gx

كتلة   عداد التدفق
النطاق القياسي
باستخدام وحدة التحكم في تدفق البروتون 5 ، 10 ، 20 ، 30 ، 50 ، 100 ، 200 ، 300 ، 500 متر مكعب في اليوم ،   1 ، 2 ، 3 ، 5 ، 10
(يمكنك اختيار نطاق المدى ونوع الغاز)
أقصى ضغط العمل 3 النائب
دقة زائد أو ناقص 1.5 ٪
انخفاض الضغط العلامة & lt ؛ 0.01 ميجا باسكال & lt؛ p = "" & gt؛
كرر الدقة زائد أو ناقص 0.2٪ fs

قنوات إذاعية:

1،   2 ، 3 ، 4 ، 5 ، 6 ، 7 ، 8 (اختياري)

مشترك   اكتب

مزدوج   شريط كاسيت الفولاذ المقاوم للصدأ

النظام   نطاق ضغط العمل

0.1   ~ 0.5 ميجا باسكال

العمل   درجة الحرارة

5-45

الضغط   مشاهدة الفراغ

0.1   ~ 0.15 ميجا باسكال إلى 0.01 ميجا باسكال / القضية

ثابتة   حجرة الخلط

dia50   × 400 مم

واجهه المستخدم

dia6   1/4 "

ال   مزود الطاقة

220   الخامس

بحجم

600   x600x600

المموج   يضخ

kf25x1000mm

ال   درجة فراغ يمكن الوصول إليها مع هذا النظام

10-1   البا

مكنسة كهرباء   صمام يربك

KF25

VRD   إلى 8 مضخة فراغ

نموذج

VRD   الى 8

الحد   ضغط جزئي

5   x10-2 سنويا

مدخل   واجهة العادم

KF25

محرك   سرعة

1440   دورة في الدقيقة

استخلاص   معدل

2.2   لتر / ثانية

محرك   قوة

0.4   كيلووات

perfeer   مضخة جذور متعددة المراحل خالية من الزيت acp1 (خطة 2)

نموذج

acp15

قوة   يتبرع

AC100   ~ 240 فولت 50/60 هرتز

قوة

450   ث

العادم   واجهه المستخدم

KF25

وزن

25   كلغ

ال   الحد الأقصى لمعدل تسرب الهيليوم هو

5   · 10-8 باسكال م 3 / ث

شديد   درجة فراغ

0.02   عربة

ال   معدل الاستخراج هو

14   م 3 / ساعة

نموذج

قانون العمل   - 1

قوة

25   ث.

مكنسة كهرباء   نطاق قياس درجة

،1-10   5 سنويا

مقاومة   السيليكون

ماذا   كان ZJ إلى 52 ر

السويد   (inficon) pirani فراغ السعة متر (اختياري)

نموذج

pcg554

إدخال   الجهد االكهربى

24V   1a dc (مجهزة محول 220 فولت)

مكنسة كهرباء   واجهة قياس

kf16

رقمي   عرض

رقمي   عرض (حجم الشاشة 20 × 14 مم) ، وحدة عرض البيانات الخاصة به هي torr

المنتج   بحجم

46MM   × 28 مم × 126 مم (س س س س)

ال   وزن

5   رطل

كشف   الغاز

مختلف   يمكن كشف الغازات بما في ذلك الغازات المختلطة ، دقيقة وقابلة للتكرار

سواء   المضادة للتآكل

تآكل   الحماية

ال   وقت الاستجابة

30   مللي أو أقل

قياس   نطاق

3.8   10-10-5-1125 تور.

جزيئي   وحدة المضخة (اختياري)

وحدة   مساهمة الجهد

380   v / 220 v

المموج   يضخ

kf40x1000

مكنسة كهرباء   صمام يربك

kf40

قضية   بحجم

600   x600x600

جزيئي   مضخة

جزيئي   نموذج المضخة

fj620

إدخال   الجهد االكهربى

380   الخامس

جزيئي   مضخة مدخل شفة

dn160

جزيئي   مضخة ضخ معدل لتر / ثانية (للهواء)

600

جزيئي   ضغط مضخة الحد (سنويا)

6   × 10-7

تبريد   النظام

ماء   تبريد

تبريد   ضغط المياه (الأم)

0.1   إلى 0.2

تبريد   درجة حرارة الماء

العلامة & lt؛   25 العلامة & lt؛ p = "" & gt؛

ال   درجة حرارة البيئة

0   ~ 40

اقترحت   ضغط الانطلاق

العلامة & lt؛   100 سنويا & lt؛ p = "" & gt؛

محرك   مضخة فراغ rvp - 6

قوة

0.75   كيلووات

الجهد االكهربى

380   الخامس

سرعة

1450   دورة في الدقيقة

مدخل   قطر الدائرة

KF25   / kf40

مضخة   معدل الضخ (لتر / ثانية)

6

أقصى   الضغط

4   x10-2 سنويا

ألمانية   مضخة فراغ pfeiffer

الجهد االكهربى

220   الخامس

قوة

110   ث.

استخلاص   واجهه المستخدم

kf40

ال   وزن

150   كلغ

مضخة   سرعة المضخة الأمامية

0.9   م 3 / ساعة

استخلاص   معدل (n2)

33   السيدة

مركب   مقياس الفراغ

مركب   نموذج قياس الفراغ

زد دي اف

ال   مزود الطاقة

220   الخامس 55 ث

مراقبة   الاحكام

زائد   أو ناقص 1 ٪

مكنسة كهرباء   قياس مدى القياس

10-5-10   5 سنويا

PECVD Furnace


1. نحن توريد الآلات مع دعم تكنولوجيا البطارية.

2. نحن العرض مجموعة كاملة من معدات بطارية الليثيوم للبحوث المخبرية ، البحث التجريبي النطاق لين الإنتاج ه.


laboratory muffle furnace


1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية anticollision الداخلية ، تصدير صندوق خشبي التغليف الخارجي.

2 الشحن عن طريق التعبير عن ، عن طريق الجو ، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء لإيجاد الطريقة الأكثر ملاءمة.

3 مسؤولة عن الضرر أثناء عملية الشحن ، سيتم تغيير جزء الضرر لك مجانا.




العلامات ذات الصلة :