فئات المنتجات

اتصل بنا

  • إذا كانت لديك أسئلة، يرجى الاتصال بنا، وسيتم الرد على جميع الأسئلة
  • البريد الإلكتروني : [email protected]
  • البريد الإلكتروني : [email protected]
  • إضافة : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
المنتجات
Sliding PECVD Furnace

3 درجة حرارة المنطقة انزلاق الفرن أنبوب pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-1400-1200
  • الدفع:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
  • الاتصال الآن
تفاصيل المنتج

3 درجة حرارة المنطقة انزلاق الفرن أنبوب pecvd


TMAX-1200-1400-1200 النظام هو تتألف من tl1200 فراغ أنبوب الفرن ، غرفة فراغ الكوارتز ، rf امدادات الطاقة ، نظام إمداد الغاز gx ، نظام الضخ ونظام قياس الفراغ.

الخصائص الرئيسية:

1. الغاز في يتم تغيير غرفة فراغ الكوارتز إلى الحالة الأيونية عن طريق إمدادات الطاقة RF.

2. pecvd هو أقل من cvd العادي لترسيب البخار الكيميائي.

3. ضغوط يمكن السيطرة على الأفلام المودعة بواسطة تردد إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية.

4. pecvd لديها عالية معدل الترسب ، التوحيد الجيد ، الاتساق والاستقرار من cvd العادي.

5. تستخدم على نطاق واسع في نمو مختلف الأفلام ، مثل siox ، sinx ، sioxny وغير المتبلور السيليكون (a-si: h) ، إلخ.

tmax1200-1400-1200-ح-بي تقنية النظام إلى عنصر التدفئة سلك مقاومة kanthal السويدية ، باستخدام هيكل قذيفة مزدوجة و 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة الجدول ، مرحلة التحول الزناد ، تحكم الثايرستور ، الفرن باستخدام الكريستالات مادة الألياف الألومينا ، يمكن الفولاذ المقاوم للصدأ شفة الختم على طرفي أنبوب الفرن ، تركيب شفة الفولاذ المقاوم للصدأ لها الفم ، صمام و قياس الضغط ، فراغ ، درجة فراغ يمكن أن تصل إلى 10-3 سنويا ، مجال درجة حرارة منخفضة موازنة ، درجة حرارة السطح ، رفع معدل درجة الحرارة ، توفير الطاقة ، السعر تنازلات ، الخ

1. kanthal سلك المقاومة a1 من السويد

KANTHAL a1 الأصلي سلك المقاومة الصينية فرن سلك مقابل   المستوردة سلك المقاومة الفرن

(1) ، ارتفاع درجة حرارة السطح يمكن أن تصل إلى 1420

(2) السطح هو الفولاذ المقاوم للصدأ (مشرق للغاية ، العميل يجب الانتباه إلى ذلك) ، فإنه لن الصدأ ، ولن يسقط وقت الاستخدام قبالة الخبث.

(3) يتم تنزيل بيانات سلك مقاومة kanthal

(4) موقع سلك مقاومة kanthal: www.kanthal.com

(5) المقاومة متوازنة ومجال درجة الحرارة جيد على قدم المساواة

معظم الشركات المصنعة تستخدم سبائك الحديد كروية مخدر بواسطة مو سلك المقاومة ، والتي

في بعض الأحيان تكون المقاومة غير متساوية وجزء من الحرارة صغير                                           KANTHAL a1 المقاومة موحدة ومتوازنة الحرارة ، حقل درجة حرارة جيدة                                                                                                                                                                       تأثير

2. تركيب الهواء التبديل و تسرب حامي:

عندما يكون التيار الكهربائي أو التسرب ، اجتماع فارغ قطع الاتصال تلقائيا.

3. يمكن الاتصال مع الكمبيوتر

تم تجهيز هذا الفرن مع واجهة الاتصالات و البرنامج ، يمكن أن يكون مباشرة من خلال التحكم في الفرن الكمبيوتر من كل المعلمة ، ويمكن ملاحظتها من الكهروضوئية الكمبيوتر على الموقد و sv قيمة درجة الحرارة وتشغيل الصك ، ودرجة الحرارة الفعلية لل منحنى الفرن رسم الكمبيوتر في الوقت الحقيقي ، ويمكن الحفاظ على بيانات درجة حرارة في كل مرة ، يمكن الاتصال في أي وقت

4. غرفة

(1 ) جودة عالية عالية الألومينا نقية الكريستالات فرن الشفاء من الألياف مع شفط فراغ وصب مرشح.

(2). اعتماد التكنولوجيا اليابانية لتشكيل.

(3). التباعد ونبرة سلك المقاومة في الفرن يتم ترتيبها وفقا لأفضل التكنولوجيا الحرارية في اليابان ، و يتم محاكاة مجال درجة الحرارة عن طريق البرامج الحرارية

(4). باستخدام 4 أسابيع التدفئة ، ودرجة الحرارة أكثر توازنا

5. المجاهدين اختياري لوح كهربائي معتمد (كل ذلك من خلال شهادة ul المستوردة الأجهزة الكهربائية)

6. الزناد

لينة بداية الزناد الحد الحالي                           تستخدم معظم الشركات المصنعة مشغلات bode شيامن غير الحد

1 مرحلة التحول الزناد (مع بداية لينة والحد الحالي وظيفة)

2. وظيفة الحد الحالي بغض النظر عن كيفية ضبط التدفئة الوقت نحن الفرن الكهربائي بعد يقتصر الحالي محول الثانوية ل 170a أو أقل حماية محدودة من المعدات. غير محدود الزناد إذا يتم تعيين معدل التدفئة بشكل غير صحيح أو سريع للغاية. الحالية المنخفضة الحالية هي جدا كبير سوف الجهاز رحلة أو يحترق.

3 بداية لينة وظيفة الحالية سوف تزيد ببطء الحالي تأثير عنصر التدفئة صغير يفضي إلى تمديد حياة عنصر التدفئة

4 - وظيفة الحماية إذا كان التيار يتجاوز الحد الحالية سوف الزناد تلقائيا قطع وظيفة الزناد لقطع فرن الحماية الحالي.

7. المجاهدين محول معتمد

1 - كابل محول نقي نحاس

2 صوت المحولات الصغيرة

3 درجة حرارة المحولات منخفض

8. مجموعة متنوعة من الخيارات لاختيار مجموعة متنوعة من الشفاه (القطر من 25 إلى 250 مم)

نموذج

TMAX-1200-1400-1200

قوة

6KW

حجم الأنبوب

ضياء 60 (od) × 2700mm

الجهد امدادات الطاقة

220 فولت

عدد الطور

على مرحلة واحدة

عنصر التسخين

استيراد مقاومة الكانتال a1   سلك انقر في تنزيل البيانات

وضع التحكم

باستخدام برنامج التحكم الكهربائي يو   مقياس الحرارة (قياسي)
1. 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة تعديل PID ذكي.
2. يمكن قطع دائرة التسخين للفرن الكهربائي تلقائيًا   عندما تم حمايتها من قبل دافئة أو مكسورة عن طريق الخطأ. (عند الفرن   درجة الحرارة تتجاوز 1200 درجة أو كسر الحرارية ، تتابع التيار المتردد   على الدائرة الرئيسية سيتم قطع الاتصال تلقائيا ، الدائرة الرئيسية هي   مكسورة ، الضوء على لوحة خارج ، قبالة الضوء ، واقية محدودة   الفرن الكهربائي.
3. مع 485 واجهة الاتصالات (قياسي ومعيار للاختيار   البرمجيات)
4. لديه وظيفة حماية انقطاع التيار الكهربائي ، وهذا هو ، عندما السلطة   متوقف ، البرنامج لن يبدأ من درجة حرارة البداية ، ولكن   سوف يبدأ الفرن بالارتفاع عند انقطاع التيار الكهربائي.
الصك لديه وظيفة ضبط درجة الحرارة الذاتي


(لاستبدال الأداة المستوردة ، نحتاج إلى دفع رسوم أخرى.)

fp93 أدوات التحكم في درجة الحرارة tableeuropean          أداة تعمل باللمس

(shimaden)

وضع التحكم في درجة الحرارة

معرف المنتج

كسر حتى الحماية والعرض

نعم

على حماية درجة الحرارة

نعم

أكثر من الحماية الحالية

نعم

دقة التحكم

+ / - 1

الزناد

مرحلة التحول الزناد

الأجهزة الكهربائية

تشجيانغ chint

السيليكون المعدل للرقابة

106 / 16e البوابة الغربية ، ألمانيا

أعلى درجة حرارة

درجة حرارة المنطقة 1: 1200 درجة الحرارة   المنطقة 2: 1200

درجة الحرارة في التصنيف

درجة حرارة المنطقة 1: 1100 درجة الحرارة   المنطقة 2: 1100

معدل التسخين

ال 20 / دقيقة أو أقل   (يمكن تعديل وفقا لمتطلبات)

معدل التدفئة الموصى بها

10 / دقيقة أو أقل

نموذج الحرارية

المناطق 1: نطاق درجة حرارة نوع k   2: ك نوع

طول التدفئة

المناطق 1: نطاق درجة حرارة 200 ملم.   2: 200 ملم

شهادة الكهربائية

م

درجة حرارة السطح المحيطة

45 او اقل

الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة

(مولد البلازما)

مجموعة انتاج الطاقة

0-500 واط

أقصى قوة تنعكس

200 واط.

تردد العمل

rf: 13.56 ميجا هرتز زائد أو ناقص 0.005٪

استقرار الطاقة

+ / - 0.1٪

عنصر التوافقي

- 50 أو أقل ديسيبل

عرض الترددات اللاسلكية

0-600 - مم قابل للتعديل

وضع المطابقة

تلقائي

وضع التبريد

الهواء البارد

الضوضاء

العلامة & lt؛ 50 ديسيبل

واجهة تردد الراديو

50 Ω ن - نوع

مدخل الطاقة

208-240 - 50/60 هرتز

المعالم الرئيسية لإمدادات الغاز gx   النظام

تدفق متر الشامل
النطاق القياسي
باستخدام وحدة التحكم في تدفق البروتون 5 ، 10 ، 20 ، 30 ، 50 ، 100 ، 200 ، 300 ، 500 متر مكعب في اليوم ،   1 ، 2 ، 3 ، 5 ، 10
(يمكنك اختيار نطاق المدى ونوع الغاز)
أقصى ضغط العمل 3 النائب
دقة زائد أو ناقص 1.5 ٪
انخفاض الضغط العلامة & lt ؛ 0.01 ميجا باسكال & lt؛ p = "" & gt؛
كرر الدقة زائد أو ناقص 0.2٪ fs

قنوات إذاعية:

1 ، 2 ، 3 ، 4 ، 5 ، 6 ، 7 ، 8 (اختياري)

نوع مشترك

كاسيت مزدوج الفولاذ المقاوم للصدأ   الموصل

نظام ضغط العمل المدى

0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال

درجة حرارة العمل

5-45

ضغط الفراغ ووتش

0.1 ~ 0.15 ميجا باسكال إلى 0.01 ميجا باسكال / القضية

غرفة خلط ثابتة

ديا 50 × 400 مم

واجهه المستخدم

ضياء 6 1/4 "

إمدادات الطاقة

220 فولت

بحجم

600 × 600 × 600

انبوب مجدول

kf25x1000mm

يمكن الوصول إلى درجة فراغ مع   هذا النظام

10-1 السلطة الفلسطينية

فراغ يربك صمام

KF25

vrd إلى 8 مضخة فراغ

نموذج

vrd إلى 8

الحد من الضغط الجزئي

5 × 10 - سنويا

مدخل العادم واجهة

KF25

سرعة المحرك

1440 دورة في الدقيقة

معدل الاستخراج

2.2 لتر / ثانية

قوة المحرك

0.4 كيلو واط

perfeer acp1 الخالية من الزيت على مراحل متعددة   مضخة جذور (خطة 2)

نموذج

acp15

مزود الطاقة

ac100 ~ 240v 50 / 60HZ

قوة

450 واط

واجهة العادم

KF25

وزن

25 كجم

الحد الأقصى لمعدل تسرب الهيليوم هو

5 · 10-8 باسكال م 3 / ث

درجة فراغ المدقع

0.02 torr

معدل الاستخراج هو

14 م 3 / ساعة

نموذج

zdr - 1

قوة

25 واط.

نطاق قياس درجة الفراغ

0.1-10 5 سنويا

السيليكون المقاومة

ما كان ZJ إلى 52 ر

السويد (inficon) البيران السعة   متر فراغ (اختياري)

نموذج

pcg554

مساهمة الجهد

24v 1a dc (مجهزة 220 فولت   محول)

واجهة قياس الفراغ

kf16

عرض رقمي

العرض الرقمي (حجم الشاشة 20x14mm) ،   وحدة عرض البيانات الخاصة بها هي torr

حجم المنتج

46 مم × 28 مم × 126 مم (س س س س)

وزن

5 رطل

الكشف عن الغاز

يمكن اكتشاف غازات مختلفة   بما في ذلك الغازات المختلطة ، دقيقة وقابلة للتكرار.

ما إذا كان المضادة للتآكل

الحماية من التآكل

وقت الاستجابة

30 مللي ثانية أو أقل

نطاق القياس

3.8 x10-5-1125 torr.

وحدة المضخة الجزيئية (اختياري)

الجهد وحدة الإدخال

380 فولت / 220 فولت

انبوب مجدول

kf40x1000

فراغ يربك صمام

kf40

حجم القضية

600 × 600 × 600

مضخة جزيئية

نموذج المضخة الجزيئية

fj620

مساهمة الجهد

380 فولت

مضخة الجزيئية مدخل شفة

dn160

مضخة ضخ جزيئية معدل لتر / ثانية (من أجل   الهواء)

600

مضخة الحد الجزيئي الضغط (سنويا)

6 × 10-7

نظام التبريد

تبريد المياه

ضغط مياه التبريد (الأم)

0.1 إلى 0.2

درجة حرارة ماء التبريد

العلامة & lt؛ 25 العلامة & lt؛ ع =   "" & gt؛

درجة حرارة البيئة

0 ~ 40

اقترح بدء الضغط

العلامة & lt؛ 100 سنويا & lt؛ p = "" & gt؛

مضخة فراغ المحرك rvp - 6

قوة

0.75 كيلو واط

الجهد االكهربى

380 فولت

سرعة

1450 دورة في الدقيقة

قطر المدخل

kf25 / kf40

معدل ضخ المضخة (لتر / ثانية)

6

الضغط النهائي

4 - 10 - 2 سنويا

مضخة فراغ pfeiffer الألمانية

الجهد االكهربى

220 فولت

قوة

110 واط.

واجهة استخراج

kf40

وزن

150 كجم

سرعة المضخة للمضخة الأمامية

0.9 م 3 / ساعة

معدل الاستخراج (n2)

33 م / ث

قياس فراغ مركب

نموذج قياس الفراغ المركب

زد دي اف

إمدادات الطاقة

220 فولت 55 واط

دقة التحكم

زائد أو ناقص 1 ٪

قياس مدى فراغ قياس

10-5-10 5 سنويا

PECVD Furnace


1. نحن توريد الآلات مع دعم تكنولوجيا البطارية.

2. نحن العرض مجموعة كاملة من معدات بطارية الليثيوم للبحوث المخبرية ، البحث التجريبي النطاق لين الإنتاج ه.


laboratory muffle furnace


1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية anticollision الداخلية ، تصدير صندوق خشبي التغليف الخارجي.

2 الشحن عن طريق التعبير عن ، عن طريق الجو ، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء لإيجاد الطريقة الأكثر ملاءمة.

3 مسؤولة عن الضرر أثناء عملية الشحن ، سيتم تغيير جزء الضرر لك مجانا.




العلامات ذات الصلة :