مدخل الطاقة

• أحادي الطور 220 فولت تيار متردد ، 50/60 هرتز
• 1000 واط (بما في ذلك مضخة التفريغ ومبرد الماء)
• إذا كان الجهد 110 فولت ، فيمكن طلب محول 1500 واط في TMAX.

مصدر الطاقة

• 13.5 ميجا هرتز ، 100 واط مولد الترددات اللاسلكية مع المطابقة اليدوية مدرج ومتصل برؤوس الرش
• وقت العمل المستمر:
• 100 وات: ≤ 1 ساعة
• 80 واط: ≤ 1.5 ساعة
• 70 وات: ≤ ساعتان
• 60 واط: ≤ 4 ساعات
• 50 وات: ≤ 8 ساعات
• نطاق التحميل: 0-80 قابل للتعديل. نطاق الضبط: -200j - 200j قابل للتعديل
• يمكن للمفتاح القابل للدوران تنشيط رأس رشاش واحد في كل مرة. يمكن تبديل رؤوس الرش "في البلازما" (بدون انقطاع للفراغ والبلازما أثناء عملية متعددة الطبقات)
• مع مصدر طاقة تيار مستمر ، يمكن تعديل المغطي بسهولة إلى مصادر رشاش تيار مستمر مقاس 1 بوصة لترسيب الفيلم المعدني ، مما يتيح ثلاثة تكوينات للتيار المستمر ، وتردد لاسلكي / اثنين تيار مستمر ، واثنين من تكوينات رأس رشاش RF / واحد (الصورة اليسرى السفلية. الرجاء التحديد من خيارات المنتج)
• يتوفر مولد الترددات اللاسلكية الاختياري ذو المطابقة التلقائية 300 واط بتكلفة إضافية

رأس الاخرق المغنطروني

• يتم تضمين ثلاثة رؤوس رش مغنطرون مقاس 1 بوصة مع سترات تبريد المياه وإدخالها في غرفة الكوارتز عبر مشابك سريعة
• يمكن شراء استبدال كابل التردد اللاسلكي من TMAX
• تم بناء مصراع واحد يتم تشغيله يدويًا على الحافة (انظر الصورة رقم 3)
• يتم تضمين مبرد مياه معاد تدويره رقميًا بسعة 10 لتر / دقيقة لتبريد رؤوس الرش
• 

الهدف الاخرق

• متطلبات الحجم المستهدف: 1 "قطر × 1/8" سمك كحد أقصى
• نطاق مسافة الاخرق: 50-80 مم قابل للتعديل
• نطاق زاوية الاخرق: 0 - 25 درجة قابلة للتعديل
• 1 "قطر الهدف النحاس و 2 ا 3 الهدف مدرج للاختبار التجريبي
• تتوفر أهداف رش مختلفة من أكسيد 1 بوصة عند الطلب بتكلفة إضافية
• للربط المستهدف ، يتم تضمين لوحات دعم نحاسية 1 مم و 2 مم. يمكن طلب إيبوكسي فضي (صورة رقم 1) وألواح دعم نحاسية إضافية (صورة رقم 2) في TMAX

غرفة فراغ

• غرفة التفريغ: 256 مم OD × 238 مم ID × 276 مم الارتفاع ، مصنوعة من الكوارتز عالي النقاء
• شفة الختم: 274 ملم ديا. مصنوعة من الألومنيوم مع حلقة سيليكون عالية الحرارة
• يتم تضمين قفص درع من الفولاذ المقاوم للصدأ للحماية بنسبة 100٪ لإشعاع التردد اللاسلكي من الغرفة
• الحد الأقصى لمستوى التفريغ: 1.0E-5 Torr مع مضخة توربو اختيارية وخبز الغرفة

حامل العينة

• حامل العينة عبارة عن مرحلة قابلة للدوران وقابلة للتسخين مصنوعة من سخان سيراميك مع غطاء من الفولاذ المقاوم للصدأ
• حجم حامل العينة: 50 مم ديا. إلى عن على. رقاقة 2 بوصة كحد أقصى (انظر الصورة أدناه)
• سرعة الدوران: 1-10 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل لطلاء موحد
• درجة حرارة الحامل قابلة للتعديل من RT إلى 600 درجة مئوية كحد أقصى (5 دقائق كحد أقصى عند 600 درجة مئوية ؛ ساعتان كحد أقصى عند 500 درجة مئوية) بدقة +/- 1.0 درجة مئوية عبر وحدة تحكم في درجة الحرارة الرقمية

مضخة فراغ

• تم بناء منفذ فراغ KF40 للتوصيل بمضخة تفريغ.
• مستوى الفراغ: 1.0E-2 Torr مع مضخة ميكانيكية ثنائية المرحلة مرفقة
• 1.0E-5 Torr مع مضخة توربو اختيارية

اختياري

• مستشعر سمك الكوارتز الدقيق اختياري. يمكن تركيبه في الحجرة لمراقبة سماكة الطلاء بدقة 0.1 Å (التبريد بالماء مطلوب)
• اتصال USB سهل بجهاز الكمبيوتر لمراقبة السماكة وسرعة الطلاء عن بُعد
• يتم تضمين 5 أجهزة استشعار الكوارتز (الاستهلاكية)
• جهاز التحكم عن بعد بجهاز التحكم بدرجة الحرارة اختياري
• اتصال USB سهل بجهاز الكمبيوتر للتحكم في درجة الحرارة عن بعد
• يتم تضمين برنامج التحكم في درجة الحرارة. الوحدة متوافقة مع LabView
• من أجل رش المغنطرون DC ، يوصى باستخدام مضخة توربو (صورة رقم 3)
• الاخرق التفاعلي مع N. 2 أو س 2 متاح مع محطة التحكم في خلط الغاز الاختيارية.
• 

بحجم

• 540 مم طول × 540 مم عرض × 1000 مم ارتفاع

الوزن الصافي

• 60 كجم

امتثال

• موافقة CE
• شهادة MET (UL 1450) متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية ، يرجى الاتصال بممثل المبيعات لدينا للحصول على عرض أسعار.

ضمان

• ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة

ملاحظات طلب التقديم

• تم تصميم هذا المغطي بالرش المغنطروني المدمج 1 "RF لطلاء أغشية الأكسيد الرقيقة على ركائز بلورية أحادية أكسيد ، والتي عادة لا تحتاج إلى إعداد فراغ عالي
• يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين (غير مدرج) على أسطوانة الغاز للحد من ضغط إخراج الغاز إلى أقل من 0.02 ميجا باسكال للاستخدام الآمن. الرجاء استخدام & GT. 5N نقاوة Ar غاز الاخرق البلازما
• للحصول على أفضل قوة التصاق طبقة رقيقة ، يرجى تنظيف سطح الركيزة قبل الطلاء:
• التنظيف بالموجات فوق الصوتية باستخدام الحمامات المتتابعة التالية - (1) أسيتون ، (2) كحول الأيزوبروبيل - لإزالة الزيت والشحوم. قم بتفريغ الركيزة باستخدام N2 ، ثم قم بالخبز الساخن في الفراغ لإزالة الرطوبة الممتصة
• قد تكون هناك حاجة إلى تنظيف البلازما لتخشين السطح ، أو تنشيط الروابط الكيميائية السطحية ، أو إزالة التلوث الإضافي
• يمكن تطبيق طبقة عازلة رقيقة (حوالي 5 نانومتر) ، مثل Cr ، Ti ، Mo ، Ta ، لتحسين التصاق المعادن والسبائك

• للحصول على أفضل أداء ، يجب تثبيت الأهداف غير الموصلة بلوحة دعم نحاسية. يرجى الرجوع إلى فيديو التعليمات أدناه (# 3) للربط الهدف
• يوفر TMAX ركيزة بلورية مفردة من الألف إلى الياء
• لقد نجحت مغطيات الرش بالبلازما TMAX RF في طلاء ZnO على Al 2 ا 3 الركيزة عند 500 درجة مئوية (ملف تعريف XRD في صورة رقم 5)
• اختبار مرونة الأغشية الرقيقة / القطب المطلي مع EQ-MBT-12-LD مغزل الانحناء اختبار .
• الجهد العالي! رؤوس الرش تتصل بالجهد العالي. من أجل السلامة ، يجب على المشغل إيقاف تشغيل مولد الترددات اللاسلكية قبل تحميل العينة وعمليات تغيير الهدف
• لا تستخدم ماء الصنبور في مبرد الماء. استخدم المبرد ، ماء DI ، الماء المقطر ، أو المواد المضافة المضادة للتآكل بالماء
•