مدخل الطاقة

• 220 فولت تيار متردد ، 50/60 هرتز ، مرحلة واحدة
• 800 واط (شاملاً المضخة)
• إذا كان الجهد 110 فولت تيار متردد ، يلزم وجود محول 1000 واط ، يرجى النقر فوق الصورة اليسرى للطلب

مصدر الطاقة

• واحد 13.5 ميجا هرتز ، مولد الترددات اللاسلكية 300 واط مع المطابقة التلقائية وظيفة مبنية في الخزانة ومتصلة برأس رشاش 2 بوصة.
• اختياري: يتوفر مصدر طاقة الرش بالتيار المستمر لطلاء المواد المعدنية

رأس الاخرق المغنطروني

• يتم تضمين رأس رشاش مغناطيسي مقاس 2 بوصة مع سترات تبريد المياه وإدخالها في غرفة الكوارتز عبر مشبك سريع
• مصراع واحد مبني على الفلنجة (يتم تشغيله يدويًا)
• مطلوب مبرد ماء معاد تدويره رقميًا بسعة 16 لترًا / دقيقة لتبريد رؤوس رش المغنطرون
• رأس رشاش مقاس 1 بوصة قابل للاستبدال واختياري بتكلفة إضافية
• كابل RF بطول 148 سم قابل للاستبدال بتكلفة إضافية
• 

الهدف الاخرق

• متطلبات الحجم المستهدف: 2 "قطر × 1/4" سمك كحد أقصى
• يتم تضمين هدف SiO2 واحد للاختبار التجريبي.
• هدف سيراميك Al2O3 يوصي طريقة الطلاء
• تتوفر أهداف رشاشة اختيارية مقاس 2 بوصة (مع لوحة دعم) عند الطلب بتكلفة إضافية.

غرفة فراغ

• غرفة التفريغ: 160 مم OD × 150 مم ID × 250 مم الارتفاع. مصنوع من الكوارتز عالي النقاء
• شفة الختم: 165 ملم ديا. مصنوعة من الألومنيوم مع حلقة سيليكون عالية الحرارة
• يتم تضمين غطاء شبكي من الفولاذ المقاوم للصدأ لحماية إشعاع التردد اللاسلكي من الغرفة بنسبة 100٪
• مستوى الفراغ: 1.0E-2 Torr مع مضخة ميكانيكية ثنائية المرحلة مضمنة و 1.0E-5 Torr مع مضخة توربينية اختيارية

حامل العينة

• حامل العينة قابل للدوران وقابل للحرارة مصنوع من سخان سيراميك مع غطاء من الفولاذ المقاوم للصدأ
• حجم حامل العينة: 50 مم ديا. ل 2 "رقاقة كحد أقصى
• سرعة الدوران قابلة للتعديل: 1-10 دورة في الدقيقة لطلاء موحد
• درجة حرارة الحامل قابلة للتعديل من RT إلى 500 درجة مئوية كحد أقصى بدقة +/- 1.0 درجة مئوية عبر جهاز التحكم في درجة الحرارة الرقمي.
• يتوفر حامل عينات التدفئة 800-1000 درجة مئوية عند الطلب عند الطلب.
• يتوفر عقد عينة اهتزاز اختياري لطلاء PVD للطاقة. (صورة 3 أدناه)
• 

محطة ضخ الفراغ

• تم بناء منفذ الفراغ KF25 للتوصيل بمضخة تفريغ.
• مطلوب مضخة فراغ مع محول KF25 ، ولكن لا يتم تضمينها .. الرجاء النقر فوق الصورة للطلب بشكل منفصل.
• مستوى الفراغ: 1.0E-2 Torr بمضخة ميكانيكية ثنائية المرحلة و 1.0E-5 Torr مع المضخة التوربينية

اختياري

• مستشعر سمك الكوارتز الدقيق اختياري ، والذي يمكن دمجه في الحجرة لمراقبة سماكة الطلاء بدقة 0.10 Å. الكمبيوتر المحمول مطلوب لسماكة العرض
• 

الابعاد الكلية

الوزن الصافي

• 70 كجم

الضمان وأمبير. امتثال

• ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة
• شهادة CE
• تتوفر شهادة NRTL أو CSA عند الطلب مقابل تكلفة إضافية

ملاحظات طلب التقديم

• تم تصميم هذا المغطي بالرش المغنطروني المدمج 2 "RF لطلاء أغشية الأكسيد الرقيقة على ركائز بلورية أحادية أكسيد ، والتي عادة لا تحتاج إلى إعداد فراغ عالي
• الرجاء استخدام & GT. 5N نقاوة Ar غاز الاخرق البلازما
• للحصول على أفضل قوة التصاق طبقة رقيقة ، يرجى تنظيف سطح الركيزة قبل الطلاء:
• التنظيف بالموجات فوق الصوتية باستخدام الحمامات المتتابعة التالية - (1) أسيتون ، (2) كحول الأيزوبروبيل - لإزالة الزيت والشحوم. قم بتفريغ الركيزة باستخدام N2 ، ثم قم بالخبز الساخن في الفراغ لإزالة الرطوبة الممتصة
• قد تكون هناك حاجة إلى تنظيف البلازما لتخشين السطح ، أو تنشيط الروابط الكيميائية السطحية ، أو إزالة التلوث الإضافي
• يمكن تطبيق طبقة عازلة رقيقة (حوالي 5 نانومتر) ، مثل Cr ، Ti ، Mo ، Ta ، لتحسين التصاق المعادن والسبائك
• للحصول على أفضل أداء ، يجب تثبيت الأهداف غير الموصلة بلوحة دعم نحاسية. يرجى الرجوع إلى فيديو التعليمات أدناه (# 3) للربط الهدف
• يستخدم TMAX وقد نجح طلاء Coaters في طلاء ZnO على Al 2 ا 3 الركيزة عند 500 درجة مئوية (ملف تعريف XRD في صورة رقم 5)
• لا تستخدم ماء الصنبور في مبرد الماء. استخدم ماء DI أو الماء المقطر أو المواد المضافة المضادة للتآكل كمواد ملوثة.
•