سمات

• 5 بنادق رش ماغنطرون لـ 5 مواد مستهدفة مختلفة
• اعتمادًا على مصادر الطاقة المستخدمة (RF أو DC) ، يمكن ترسيب كل من المواد المعدنية وغير المعدنية.
• قادرة على رش 5 مواد مستهدفة لإنتاج تركيبات مختلفة عبر أوقات / معدلات رش مختلفة
• مع 5 مصادر طاقة اختيارية ، يمكن رش 5 مواد مستهدفة في نفس الوقت من أجل الاخرق التوافقي
• يمكن إيداع 16 عينة في دفعة واحدة بقناع وحامل عينة دوار

مدخل الطاقة

• أحادي الطور 220 فولت تيار متردد ، 50/60 هرتز
• 1000 واط (بما في ذلك مضخة التفريغ ومبرد الماء)

مصدر الطاقة

• يتم تضمين مولد تردد لاسلكي واحد 13.5 ميجاهرتز و 300 وات بمطابقة تلقائية ومتصل برؤوس الرش
• يمكن للمفتاح القابل للدوران تنشيط رأس رشاش واحد في كل مرة. يمكن تبديل رؤوس الرش "في البلازما" دون كسر الفراغ أثناء عملية متعددة الطبقات.
• تُعد مصادر طاقة التردد اللاسلكي المتعددة اختيارية ، مما يسمح للمستخدم برشاش الأهداف المتعددة في نفس الوقت من أجل الاخرق التوافقي
• يتوفر الكمبيوتر المحمول المزود ببرنامج تحكم بتكلفة إضافية للتحكم في وقت وقوة رشاش كل مسدس RF

اختياري

• يمكنك اختيار مصدر طاقة تيار مستمر من أجل رش الهدف المعدني
• مع خمسة من مصادر الطاقة DC أو RF ، يمكن رش 5 مواد مستهدفة في نفس الوقت من أجل الاخرق التوافقي

رأس الاخرق المغنطروني

• يتم تضمين خمسة رؤوس رش مغنطرون مقاس 1 بوصة مع سترات تبريد المياه وإدخالها في غرفة الكوارتز عبر مشابك سريعة
• يمكن شراء استبدال كابل التردد اللاسلكي من TMAX
• تم بناء مصراع واحد يتم تشغيله يدويًا على الحافة (انظر الصورة رقم 3)
• يتم تضمين مبرد مياه معاد تدويره رقميًا بسعة 10 لتر / دقيقة لتبريد رؤوس الرش
• 

الهدف الاخرق

• متطلبات الحجم المستهدف: 1 "قطر × 1/8" سمك كحد أقصى
• نطاق مسافة الاخرق: 50-80 مم قابل للتعديل
• نطاق زاوية الاخرق: 0 - 25 درجة قابلة للتعديل
• 1 "قطر الهدف النحاس و 2 ا 3 الهدف مدرج للاختبار التجريبي
• تتوفر أهداف رش مختلفة من أكسيد 1 بوصة عند الطلب بتكلفة إضافية
• للربط الهدف ، يتم تضمين لوحات دعم نحاسية 1 مم و 2 مم. يمكن طلب إيبوكسي فضي (صورة رقم 1) وألواح دعم نحاسية إضافية (صورة رقم 2) في TMAX

غرفة فراغ

• حجرة التفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 مع ضلع تقوية
• حجم غرفة التفريغ الداخلي: 470 مم طول × 445 مم عمق × 522 مم ارتفاع (~ 105 لتر ، 18.5 بوصة × 17.5 بوصة × 20.5 بوصة)
• دائري 380 مم ديا. باب من النوع المفصلي مع نافذة زجاجية بقطر 150 مم
• نطاق درجة الحرارة: -15 إلى 150 درجة مئوية
• مستوى الفراغ: 4.0E-5 تور مع مضخة تربو

حامل العينة

• حامل عينة قابل للدوران بقطر 150 مم للطلاء 16 عينة دفعة واحدة بتركيبات مختلفة
• يمكن التحكم في حامل العينة ودوران القناع يدويًا بواسطة زر أو تلقائيًا بواسطة برنامج تحكم (اختياري)
• درجة حرارة حامل العينة قابلة للتعديل من RT إلى 600 درجة مئوية كحد أقصى

مضخة فراغ

• تم بناء منفذ فراغ KF40 للتوصيل بمضخة تفريغ.
• يتم تضمين مضخة توربو مدمجة
• 4.0E-5 Torr مع مضخة توربو اختيارية

اختياري

• مستشعر سمك الكوارتز الدقيق اختياري. يمكن تركيبه في الحجرة لمراقبة سماكة الطلاء بدقة 0.1 Å (التبريد بالماء مطلوب)
• اتصال USB سهل بجهاز الكمبيوتر لمراقبة السماكة وسرعة الطلاء عن بُعد
• يتم تضمين 5 أجهزة استشعار الكوارتز (الاستهلاكية)

الوزن الصافي

• 60 كجم

امتثال

• موافقة CE
• شهادة MET (UL 1450) متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية ، يرجى الاتصال بممثل المبيعات لدينا للحصول على عرض أسعار.

ضمان

• ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة

ملاحظات طلب التقديم

• تم تصميم هذا المغطي بالرش المغنطروني المدمج 1 "RF لطلاء أغشية الأكسيد الرقيقة على ركائز بلورية أحادية أكسيد ، والتي عادة لا تحتاج إلى إعداد فراغ عالي
• يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين (غير مدرج) على أسطوانة الغاز للحد من ضغط إخراج الغاز إلى أقل من 0.02 ميجا باسكال للاستخدام الآمن. الرجاء استخدام & GT. 5N نقاوة Ar غاز الاخرق البلازما
• للحصول على أفضل قوة التصاق طبقة رقيقة ، يرجى تنظيف سطح الركيزة قبل الطلاء:
• التنظيف بالموجات فوق الصوتية باستخدام الحمامات المتتابعة التالية - (1) أسيتون ، (2) كحول الأيزوبروبيل - لإزالة الزيت والشحوم. قم بتفريغ الركيزة باستخدام N2 ، ثم قم بالخبز الساخن في الفراغ لإزالة الرطوبة الممتصة
• قد تكون هناك حاجة إلى تنظيف البلازما لتخشين السطح ، أو تنشيط الروابط الكيميائية السطحية ، أو إزالة التلوث الإضافي
• يمكن تطبيق طبقة عازلة رقيقة (حوالي 5 نانومتر) ، مثل Cr ، Ti ، Mo ، Ta ، لتحسين التصاق المعادن والسبائك

• للحصول على أفضل أداء ، يجب تثبيت الأهداف غير الموصلة بلوحة دعم نحاسية. يرجى الرجوع إلى فيديو التعليمات أدناه (# 3) للربط الهدف
• يوفر TMAX ركيزة بلورية مفردة من الألف إلى الياء
• لقد نجحت مغطيات الرش بالبلازما TMAX RF في طلاء ZnO على Al 2 ا 3 الركيزة عند 500 درجة مئوية
• اختبار مرونة الأغشية الرقيقة / القطب المطلي مع EQ-MBT-12-LD مغزل الانحناء اختبار .
• الجهد العالي! رؤوس الرش تتصل بالجهد العالي. من أجل السلامة ، يجب على المشغل إيقاف تشغيل مولد الترددات اللاسلكية قبل تحميل العينة وعمليات تغيير الهدف
• لا تستخدم ماء الصنبور في مبرد الماء. استخدم المبرد ، ماء DI ، الماء المقطر ، أو المواد المضافة المضادة للتآكل بالماء
•