هيكل مدمج

مدخل الطاقة

• أحادي الطور 220 فولت تيار متردد 50/60 هرتز
• 2000 واط (بما في ذلك مضخة التفريغ ومبرد الماء)

مصدر الطاقة

• تم دمج ثلاثة مصادر طاقة متلألئة في مربع تحكم واحد (انقر فوق الصورة أدناه للاطلاع على المواصفات التفصيلية)
• مصدر تيار مستمر: 500 واط لطلاء المواد المعدنية (صورة 1)
• مصدر الترددات اللاسلكية: قوة 300 واط ، تردد 13.56 ميجا هرتز لطلاء المواد غير الموصلة (صورة 2)

رأس الاخرق المغنطروني

• ثلاثة رؤوس رش مغنطرون بقطر 2 بوصة مع سترات تبريد المياه ومصاريع متضمنة
• يتوفر أيضًا نموذج رأس رشاش واحد.
• متطلبات الحجم المستهدف: 2 "قطر
• نطاق السماكة: 0.1 - 5 مم لكل من الأهداف المعدنية وغير الموصلة (بما في ذلك لوحة الدعم)
• واحد الهدف الفولاذ المقاوم للصدأ ودرجة بحث واحدة هدف Al2O3 يتم تضمينها للاختبار التجريبي
• تتوفر أهداف رشاشة اختيارية مقاس 2 بوصة (أو لوحة دعم) عند الطلب بتكلفة إضافية.
• وصفة الاخرق الموصى بها ونصائح مفيدة
• المغطي حسب الطلب: اثنان DC - واحد RF ؛ اثنان RF - واحد DC ؛ ثلاثة العاصمة ثلاثة RF (يرجى الاختيار من خيارات المنتج)
• اختياري: يمكن طلب كبل RF بطول 148 سم بتكلفة إضافية لاستبداله

غرفة فراغ

• غرفة التفريغ: 300 مم ديا. × 300 مم الارتفاع ، مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ
• منفذ العرض: قطعتان بقطر 100 ملم. زجاج. واحد ثابت واحد قابل للفصل للتنظيف والاستبدال
• غطاء من النوع المفصلي مع عمود طاقة هوائي يسمح بتغيير الهدف بسهولة

مرحلة العينة

• حامل العينة عبارة عن مرحلة قابلة للدوران وقابلة للتسخين مصنوعة من سخان خزفي بغطاء نحاسي
• حجم حامل العينة: 140 ملم ديا. إلى عن على. 4 "رقاقة كحد أقصى
• سرعة الدوران: 1 - 20 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل لطلاء موحد
• درجة حرارة الحامل قابلة للتعديل من RT إلى 500 درجة مئوية كحد أقصى (ساعتان كحد أقصى) بدقة +/- 1.0 درجة مئوية عبر وحدة تحكم في درجة الحرارة الرقمية

التحكم في تدفق الغاز

• تم تركيب جهازي تحكم دقيقين في التدفق الكتلي (MFC) للسماح بدخول نوعين من الغازات
  
  
• معدل التدفق: 0-200 مل / دقيقة & أمبير ؛ 0-100 مللي / دقيقة قابلة للتعديل على لوحة التحكم بشاشة اللمس
• تم تركيب صمام مدخل الهواء من أجل تحرير الفراغ

محطة ضخ الفراغ

• يتم تضمين محطة ضخ متنقلة. يمكن وضع المغطي بالرش فوق المحطة
• يتم دمج مضخة توربو عالية السرعة بسرعة 80 لترًا / ثانية مع مضخة ميكانيكية ذات مرحلتين (220 لترًا / دقيقة) لتحقيق أقصى مستوى للفراغ وسرعة ضخ أسرع
• مستوى الفراغ القياسي المتصل بالغرفة: & lt؛ 4.0E-5 تور. . (1.0E-6 تور مع غرفة الخبز)
• اختياري بتكلفة إضافية
• إذا اخترت مضخة توربو عالية السرعة سعة 150 لترًا / ثانية ، يمكن أن تصل الفراغ إلى 10-6 تور مع الحجرة (6 × 10-7 تور مع الخبز)
• بالنسبة للفراغ الفائق حتى 10 ^ -7 تور ، هناك حاجة لمضخة جامدة (100 لتر / ثانية H2 & amp؛ O2) بالإضافة إلى مضخة التوربو. يرجى استشارة مهندسينا للتخصيص التفصيلي.
• مضخة توربو عالية السرعة 150 لتر / ثانية
• مضخة جتر
• 

براد مياه

• تحكم بدرجة حرارة رقمية واحدة مبرد الماء المعاد تدويره متضمن.
• نطاق التبريد: 5 ~ 35 درجة مئوية
• معدل التدفق: 16 لتر / دقيقة
• ضغط المضخة: 14 رطل / بوصة مربعة

اختياري

• الكوارتز الدقيق مراقب سمك الفيلم اختياري ، يمكن أن يكون في الحجرة لمراقبة سماكة الطلاء بدقة 0.10 Å
• دقة رقيقة وأمبير. أنظمة تحليل الطلاء - EQ-TFMS-LD متوفر بتكلفة إضافية
• تتوفر أهداف مختلفة من الأكسيد والمعدن مقاس 2 بوصة عند الطلب بتكلفة إضافية. يمكن طلب ألواح دعم الإيبوكسي الفضية والنحاسية من TMAX

الابعاد الكلية

الوزن الصافي للمغطي

• 160 كجم

وزن الشحن وأمبير. أبعاد

• إجمالي 3 منصات
• 365 رطلاً ، 48 بوصة × 40 بوصة × 45 بوصة
  
  
• 390 رطلاً ، 48 بوصة × 40 بوصة × 49 بوصة
  
  
• 210 رطلاً ، 48 بوصة × 40 بوصة × 30 بوصة
  
  

امتثال

• موافقة CE
• شهادة MET (UL 1450) متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية ، يرجى الاتصال بممثل المبيعات لدينا للحصول على عرض الأسعار.

ضمان

• ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة

ملاحظات طلب التقديم

• يجب تثبيت منظم ضغط من مرحلتين (غير مدرج) على أسطوانة غاز للحد من ضغط إخراج الغاز أقل من 0.02 ميجا باسكال للاستخدام الآمن
• من أجل إزالة الأكسجين من الغرفة ، تقترح TMAX استخدام 5٪ هيدروجين + 95٪ نيتروجين لتنظيف الغرفة 2-3 مرات ، مما قد يقلل من مستوى الأكسجين إلى & lt ؛ 10 جزء في المليون
• الرجاء استخدام & GT. 5N نقاء غاز الأرجون لرش البلازما. على الرغم من أن نقاوة 5N Ar تحتوي عادةً على 10 - 100 جزء في المليون من الأكسجين و H2O اعتمادًا على المورد. يقترح عليك TMAX استخدام ملفات جهاز تنقية الغاز لتنقية الغاز قبل ملئه.
• للحصول على أفضل أداء ، يجب تثبيت الأهداف غير الموصلة بلوحة دعم نحاسية. يرجى الرجوع إلى فيديو التعليمات أدناه للربط الهدف
• يوفر TMAX ركيزة بلورية مفردة من الألف إلى الياء
• قامت TMAX Sputtering Coaters بتغطية ZnO بنجاح على Al 2 ا 3 الركيزة عند 500 درجة مئوية
• اختبار مرونة الأغشية الرقيقة / القطب المطلي مع EQ-MBT-12-LD مغزل الانحناء اختبار .
• الجهد العالي! رؤوس الرش تتصل بالجهد العالي. من أجل السلامة ، يجب على المشغل إيقاف تشغيل مولد التردد اللاسلكي / التيار المستمر قبل تحميل العينة وعمليات تغيير الهدف
• لا تستخدم ماء الصنبور في مبرد الماء. يجب استخدام مبردات الحماية من الصدأ لمنع الصدأ والتآكل.