فرن CSS ذو منطقتين مع حامل بسكويت دوار يصل إلى 5 × 5 "بحد أقصى 800 درجة مئوية - OTF-1200X-RTP-II-5-R

OTF-1200X-RTP-II-5-R هو فرن معالجة حراري سريع متطور مع حجرة كوارتز 11 بوصة وحامل عينات دوارة 5 × 5. إنه مصمم لطلاء فيلم CSS حتى 5 "عينات دائرية أو مربعة من الرقاقات عند درجة حرارة تشغيل تصل إلى 800 درجة مئوية كحد أقصى. يتم تسخين الفرن بواسطة مجموعتين من سخانات الهالوجين (العلوية والسفلية) بشكل منفصل بحد أقصى. 10 º ج / ثانية معدل التسخين. حامل العينة العلوي قابل للدوران لتحقيق طلاء موحد عالي. إنها أداة ممتازة للبحث عن الجيل الجديد من الأغشية الرقيقة للخلايا الشمسية ، مثل CdTe و Sulfide و P الخلية الشمسية erovskite.

تحديد:

هيكل الفرن	الفرن ، واثنين من أجهزة التحكم في درجة الحرارة ، ومقاييس تدفق الغاز ثنائية القناة مدمجة في إطار متحرك من سبائك الألومنيوم. الحجرة مصنوعة من أنبوب كوارتز مصهور عالي النقاء مع دايمسيون من 11 "OD / 10.8" ID x 9 "H. حواف التفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316 ويمكن رفعها بواسطة محرك كهربائي. لوحان تسخين بالأشعة تحت الحمراء مقاس 5 بوصات × 5 بوصات والتباعد قابلان للتعديل. حامل العينة العلوي قابل للدوران بسرعة 0-7 دورة في الدقيقة.
شفرات فراغ	يمكن أن تنزلق الحافة العلوية مع منفذ تفريغ واحد KFD-25 ومنفذ غاز واحد (مطلوب أنبوب 1/4 بوصة) لأعلى أو لأسفل يدويًا لتحميل وتفريغ الركيزة والمواد المبخرة بسهولة. تحتوي الحافة السفلية على منفذ تفريغ واحد KFD-25 مع مدخل غاز واحد (مطلوب أنبوب 1/4 بوصة) مع صمامات إبرة. يتم ختم الحافة بواسطة حلقات مزدوجة من السيليكون ويمكن أن تحقق الحد الأقصى. ضغط الفراغ من 10E-2 Torr بجودة مضخة ميكانيكية و 10E-5 Torr بواسطة مضخة جزيئية (مضخة التفريغ غير متضمنة ، يرجى الطلب بشكل منفصل). يتم تثبيت مقياس فراغ رقمي واحد على الحافة العلوية. مقياس الفراغ الرقمي الدقيق المضاد للتآكل موجود في العبوة القياسية (منذ 2016.03.24) .
حامل السخان والعينة	اثنان من السخانات التي يتم التحكم فيها بشكل مستقل مع فجوة قابلة للتعديل يدويًا من 2 إلى 30 مم. تستخدم مصابيح الهالوجين 20 قطعة كعنصر تسخين للمعالجة الحرارية السريعة. السخانات مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع سترة ماء بارد لتقليل الإشعاع الحراري وقادرة على التبريد السريع. 5 "ديا. حامل البسكويت الدائري مدمج في السخان العلوي لتثبيت الركيزة. يتم تضمين مجموعة واحدة من ألواح AlN عالية التوصيل الحراري (بسمك 5 "Dia. x 0.5mm) (ضعها على الجزء الخلفي من الركيزة لجعلها تسخن بشكل موحد). يتم تضمين مبرد مياه متداول سعة 58 لترًا / دقيقة لتوفير مصدر المياه (انقر فوق الصورة أدناه للاطلاع على المواصفات التفصيلية). حامل العينة العلوي قابل للدوران بسرعة قابلة للتعديل من 0 إلى 7 دورة في الدقيقة
تحكم في درجة الحرارة	توفر جهازي تحكم رقمي دقيق في درجة الحرارة مع 30 جزءًا قابلة للبرمجة تحكمًا مستقلاً في السخانات العلوية والسفلية. تحتوي كل وحدة تحكم على وظيفة PID autotune لحماية السخانات من التجاوز ووظيفة الإنذار لمنع ارتفاع درجة الحرارة من إتلاف الأزواج الحرارية. واجهة اتصالات الكمبيوتر & أمبير ؛ تم تثبيت برنامج (انقر فوق الصورة أدناه للحصول على التفاصيل) لتسجيل ملف تعريف درجة الحرارة الموضح أدناه.
درجة حرارة العمل	أقصى درجة حرارة لكل سخان: ≤ 800 درجة مئوية. أقصى فرق في درجة الحرارة بين سخانين: ≤ 300 درجة مئوية يعتمد على المسافة بين السخانات: تباعد 30 ملم كحد أقصى. فرق درجة الحرارة: 315 درجة مئوية @ تسخين القاع فقط
تدفئة وأمبير. معدل التبريد	تدفئة: العلامة & lt؛ 8ºC / s (تسخين السخان الفردي فقط) التبريد: العلامة & lt؛ 10 درجة مئوية / ثانية (600-100 درجة مئوية) كحد أقصى.
زوجان حراريان	يتم تثبيت اثنين من الأزواج الحرارية من النوع K على السخانات العلوية والسفلية بشكل منفصل.
طاقة كهربائية شغالة	208 - 240 فولت تيار متردد ، أحادي الطور ، قاطع هواء 50 أمبير
متطلبات الطاقة	إجمالي 10 كيلو واط
أبعاد	(انقر الموافقة المسبقة عن علم لرؤية البعد)
وزن الشحن وأمبير. البعد	منصتين: 525 رطلاً و 48 × 40 × 87 بوصة و 165 رطلاً بأبعاد 39 × 31 × 29 بوصة
اختياري	مطلوب مضخة فراغ واحدة. يرجى الطلب بشكل منفصل عن طريق النقر على الصورة الأولى من اليسار أدناه. يمكن أن يصل مستوى الفراغ إلى ≤ 10E-2 torr بواسطة مضخة ميكانيكية. في حالة استخدام غاز تآكل ، يرجى استخدام مصيدة باردة أو مضخة جافة مضادة للتآكل موضحة في الصورة 2-3 بتكلفة إضافية. يمكنك اختيار نظام توصيل الغاز الرقمي MFC بالنقر فوق الصورة الأولى من اليمين أدناه.
ضمان	عام واحد محدود مع دعم مدى الحياة (لا يشمل الضمان الأجزاء المستهلكة مثل أنبوب الكوارتز ومصابيح التدفئة).
ملاحظات التطبيق وأمبير. تحذيرات	تم تصميم أفران الأنبوب مع أنبوب الكوارتز للاستخدام تحت ضغط الفراغ والضغط المنخفض & lt؛ 0.2 بار / 3 رطل / 0.02 ميجا باسكال. يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000 درجة مئوية. يجب أن يقتصر معدل تدفق الغازات على العلامة & lt ؛ 200 SCCM (أو 200 مل / دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية للأنبوب. أ الانتباه : يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 PSI للتشغيل الآمن. تم تصميم قاعدة القدم لهذا الفرن للسحب لمسافات قصيرة على الأسطح المستوية (بدون حفر أو نتوءات) فقط.