فرن CSS ذو منطقتين للمختبر للمعالجة الحرارية السريعة حتى 3 بوصات و 650 درجة مئوية.

OTF-1200X-RTP-II عبارة عن فرن معالجة حراري سريع بمنطقة تسخين مع أنبوب كوارتز O.D مقاس 11 بوصة ، وهو مصمم لـ PVD أو CSS ( إغلاق تسامي متباعد ) طلاء فيلم يصل قطره إلى 3 بوصات أو 2 × 2 بوصة مربعة. يتم تسخين الفرن بواسطة مجموعتين من سخانات الهالوجين (العلوية والسفلية) بشكل منفصل مع أقصى معدل تسخين 20 درجة مئوية / ثانية. +/- 1 درجة مئوية. تم تضمين منفذ RS485 وبرنامج التحكم للسماح بتشغيل الفرن وتسجيل ملف تعريف درجة الحرارة عبر الكمبيوتر.إنها أداة ممتازة للبحث عن الجيل الجديد من الأغشية الرقيقة للخلايا الشمسية ، مثل CdTe و Sulfide و P الخلية الشمسية erovskite.

تحديد:

هيكل الفرن وأمبير. غرفة فراغ	· يتم دمج السخان المزدوج ، وجهازي تحكم في درجة الحرارة ، ومقاييس تدفق الغاز ثنائية القناة في إطار متحرك من سبائك الألومنيوم · الحجرة مصنوعة من أنبوب كوارتز مصهور عالي النقاء · حجم أنبوب الكوارتز: 11 "OD / 10.8" ID × 9 "H. · حواف التفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316 · الأبعاد الكلية: 850 (L) × 745 (W) × 1615 (H) ملم
شفرات فراغ	· يمكن أن تنزلق الحافة العلوية مع منفذ تفريغ واحد KFD-25 ومنفذين للغاز (أنبوب 1/4 بوصة) لأعلى أو لأسفل يدويًا لتحميل وتفريغ الركيزة والمواد المبخرة بسهولة · تحتوي الحافة السفلية على منفذ تفريغ KFD-25 مع مدخلي غاز (مطلوب أنبوب 1/4 بوصة) وصمامات إبرة · يتم إغلاق الفلنجة بواسطة حلقات دائرية من السيليكون مزدوجة ويمكن أن تحقق أقصى ضغط تفريغ يبلغ 10E-2 Torr بواسطة مضخة ميكانيكية عالية الجودة و 10E-5 Torr بواسطة مضخة جزيئية (مضخة التفريغ غير متضمنة ، يرجى الطلب بشكل منفصل) · مقياس الفراغ الرقمي الدقيق المضاد للتآكل موجود في العبوة القياسية (منذ 2016.03.24) .
عدادات تدفق الغاز	متران عائمان مثبتان على لوحة التحكم بمدى قياس: · 16-160 مل / م · 400 - 4000 مل / م (لغرض التطهير)
حامل السخان والعينة	· مصباحان يعملان بالأشعة تحت الحمراء على الموجات القصيرة كعناصر تسخين للتسخين السريع. · المسافة بين السخانات قابلة للتعديل من 10-50 مم · السخانات مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع سترة ماء بارد لتقليل الإشعاع الحراري والسماح بالتبريد السريع · حامل بسكويت الويفر 3 بوصة مدمج مع سخان علوي لتحميل الركيزة · يتم تضمين لوحة AlN عالية التوصيل الحراري (3 "Dia x 0.5mm Thick) ، والتي يجب وضعها على الجزء الخلفي من الركيزة لجعلها ساخنة بشكل موحد · يمكن استخدام لوحة واحدة من الجرافيت مقاس 3 بوصات بدلاً من لوحة AIN ، يرجى النقر فوق الصورة أدناه للطلب. · يتوفر استبدال سخان ضوء الهالوجين بتكلفة إضافية
تحكم في درجة الحرارة	· توفر جهازي تحكم رقمي دقيق في درجة الحرارة مع 30 جزءًا قابلة للبرمجة تحكمًا مستقلاً في السخانات العلوية والسفلية · تحتوي كل وحدة تحكم على وظيفة الضبط التلقائي PID لحماية السخانات من التجاوز ووظيفة الإنذار لتجنب ارتفاع درجة الحرارة وكسر الزوجين الحراري · واجهة اتصالات الكمبيوتر & أمبير ؛ تم تثبيت البرنامج لـ (انقر الصورة أدناه للحصول على التفاصيل) لتسجيل ملف تعريف درجة الحرارة الموضح أدناه
درجة حرارة العمل	· أقصى درجة حرارة لكل سخان: العلامة & lt ؛ = 650 درجة مئوية · أقصى فرق في درجة الحرارة بين سخانين: & lt ؛ = 300 درجة مئوية يعتمد على التباعد بين سخانين: ا تباعد 30 ملم كحد أقصى. فرق درجة الحرارة: 315 درجة مئوية @ تسخين القاع فقط ا تباعد 40 ملم كحد أقصى. فرق درجة الحرارة: 350 درجة مئوية @ تسخين القاع فقط ا تباعد 50 مم كحد أقصى. فرق درجة الحرارة: 395 درجة مئوية @ تسخين القاع فقط
تدفئة وأمبير. معدل التبريد	· تدفئة: العلامة & lt؛ 8ºC / s (تسخين السخان الفردي فقط) · التبريد: العلامة & lt؛ 10 درجة مئوية / ثانية (600-100 درجة مئوية) كحد أقصى.
زوجان حراريان	يتم تثبيت زوجين حراريين من النوع K (مكشوفين) على السخانات العلوية والسفلية بشكل منفصل
طاقة كهربائية شغالة	208 - 240VAC ، أحادي الطور ، قاطع هواء 20 أمبير
متطلبات الطاقة	إجمالي 2200 واط (1100 واط لكل سخان)
اختياري	· مطلوب مضخة فراغ واحدة. يرجى الطلب بشكل منفصل عن طريق النقر على الصورة الأولى من اليسار أدناه. يمكن أن يصل مستوى الفراغ إلى العلامة & lt ؛ = 10E-2 تور بواسطة مضخة ميكانيكية · إذا قمت بتشغيل غاز تآكل ، يرجى مراعاة استخدام المضخة الجافة المضادة للتآكل الموضحة في الصورة الثانية من اليسار أدناه (مضخة فايفر من ألمانيا) بتكلفة إضافية · يمكنك طلب مبرد مياه معاد تدويره لتوفير مصدر المياه بشكل منفصل · يمكنك اختيار نظام توصيل الغاز الرقمي MFC بالنقر فوق الصورة الأولى من اليمين أدناه
ضمان	عام واحد محدود مع دعم مدى الحياة (لا يشمل الضمان الأجزاء المستهلكة مثل أنبوب الكوارتز ومصابيح التدفئة)
الكمبيوتر المحمول والبرمجيات وأمبير. تحكم WiFi (اختياري)	· كمبيوتر محمول جديد تمامًا مع Microsoft Window 10 و Microsoft Office 2013 (نسخة تجريبية مجانية لمدة 30 يومًا) للاستخدام الفوري. · نظام التحكم في درجة الحرارة القائم على Labview ( EQ-MTS01 ) تمكن المستخدم من تحرير ملف تعريف درجة الحرارة ، وإدارة وصفة المعالجة الحرارية ، وتسجيل بيانات المؤامرة لأفران MTI. · يوفر جهاز التحكم عن بعد اللاسلكي نطاق تشغيل يصل إلى 300 متر. · تتوفر الميزات المذكورة أعلاه عند الطلب بتكلفة إضافية (تصل إلى 1000 دولار). يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المعلومات. · ملحوظة: البرنامج متوافق فقط مع وحدة التحكم في درجة الحرارة Yudian من MTI ·
ملاحظات طلب التقديم	يرجى قراءة المقال: عالية الكفاءة CSS CdTe الخلايا الشمسية
تحذير	· تم تصميم أفران الأنبوب مع أنبوب الكوارتز للاستخدام تحت ضغط الفراغ والضغط المنخفض & lt؛ 0.2 بار / 3 رطل / 0.02 ميجا باسكال. يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000 درجة مئوية. يجب أن يقتصر معدل تدفق الغازات على العلامة & lt ؛ 200 SCCM (أو 200 مل / دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية للأنبوب. · انتباه : يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 PSI للتشغيل الآمن.