طلاء تبخير حراري عالي الدقة يتم التحكم في درجة حرارته

GSL-1700X-SPC-2 عبارة عن طلاء تبخير حراري مضغوط يتميز بالدقة والتحكم في درجة الحرارة القابلة للبرمجة ، وهو مناسب لطلاء معظم أغشية المواد المعدنية والعضوية حتى حجم 2 بوصة من 200 درجة مئوية إلى 1500 درجة مئوية (أو 200 درجة مئوية - 1700 درجة مئوية) مع ازدواج حراري اختياري من النوع B.) حامل عينة قابل للدوران مدمج للسماح بطلاء فيلم موحد.

تحديد:

هيكل وأمبير. سمات	حجرة كوارتز بحجم 6 بوصات بقطر 10 × 10 بوصة لسهولة التنظيف وتحميل العينات حامل عينة قابل للدوران بقطر 2 بوصة لطلاء فيلم موحد سخان ملف التنغستن وبوتقة الألومينا للطلاء بدرجات حرارة عالية تصل إلى 1700 درجة مئوية تحكم دقيق في درجة الحرارة مع 30 قطعة قابلة للبرمجة ودقة +/- 1 درجة مئوية يمكن تحقيق فراغ عالي يصل إلى 1.0E-5 Torr عبر المضخة التوربينية الاختيارية تم بناء منفذ تدفق الغاز والصمام لتطهير الغرفة وإمكانية CVD
مدخل الطاقة	جهد الإدخال: 208 - 240 فولت تيار متردد 50/60 هرتز ، أحادي الطور الطاقة المدخلة: 500 واط طاقة الخرج: 40 أمبير كحد أقصى. العمل الحالي الموصى به & lt؛ 20 أ كابل الطاقة مضمن بدون القابس
التحكم في درجة الحرارة وأمبير. دفايات	سخان ملف التنغستن مع مزدوج حراري مدمج في الجزء السفلي من بوتقة الألومينا (للتحكم في درجة الحرارة (PIC. 1). يرجى الرجوع إلى الصورة اليسرى لمعرفة الأبعاد المزدوجة الحرارية من النوع القياسي (مضمنة ومركبة) - تسخين من 200 درجة مئوية إلى 1500 درجة مئوية (الموافقة المسبقة عن علم 2) مزدوج حراري اختياري من النوع B (بتكلفة إضافية) - تسخين من 1200 درجة مئوية إلى 1700 درجة مئوية متحكم رقمي واحد في درجة الحرارة مع 30 قطعة قابلة للبرمجة ودقة +/- 1 درجة مئوية (الموافقة المسبقة عن علم 3) إعدادات الوقت لجهاز التحكم في درجة الحرارة بالثواني. يوصى بالحد من معدل التسخين / التبريد إلى 0.3 درجة مئوية / ثانية (أو 20 درجة مئوية / دقيقة) أقل من 1200 درجة مئوية ، والحد من 0.15 درجة مئوية / ثانية (أو 10 درجة مئوية / دقيقة) من 1200 إلى 1700 درجة مئوية للتدفئة المستمرة فوق 1300 ºC ، يرجى تحديد وقت التشغيل إلى أقل من ساعة واحدة للحفاظ على عمر خدمة الحلقة O ذات الحافة السفلية للطلاء السريع حتى 2000 درجة مئوية ، كما هو مطلوب في طلاء الكربون ، يمكن للمستخدم إزالة المزدوجة الحرارية ، والكتلة الحرارية الألومينا ، وبوتقة الألومينا ، وتحميل مادة التبخر مباشرة في سخان ملف التنغستن ، واستخدام وضع التحكم اليدوي الحالي (PIC.4) ) يتم تضمين أربع بوتقات من الألومينا (حتى 1700 درجة مئوية) واثنين من سخانات ملف التنغستن. يرجى الرجوع إلى القسم الاختياري لطلب قطع الغيار
حامل العينة	قطر واحد 50 ملم. يتم تثبيت مرحلة العينة القابلة للدوران ومصراعها على الحافة العلوية. سرعة الدوران: 5 دورة في الدقيقة يمكن ضبط المسافة من حامل العينة إلى مصدر التبخر من 40 مم إلى 85 مم
مراقب سمك الفيلم (اختياري)	حساس دقيق لسمك الكوارتز هو اختياري. يمكن دمجها في الحجرة لتوفير مراقبة فورية لسماكة الفيلم بدقة 0.10 Å. وحدة عرض LED خارج الغرفة يمكنها: · معلومات مواد الطلاء المدخلات على أساس قاعدة البيانات المضمنة عرض سمك الطلاء الكلي وسرعة الطلاء دقة رقيقة وأمبير. أنظمة تحليل الطلاء - EQ-TFMS-LD متوفر بتكلفة إضافية
مكنسة	يتم تركيب منفذ تفريغ KF25 للتوصيل بمضخة تفريغ قد يصل أعلى فراغ إلى & lt؛ 4.0E-6 Torr عن طريق الضخ طوال الليل بمضخة جزيئية توربينية اختيارية مطلوب مضخة فراغ للطلاء. الرجاء الاختيار من بين خيارات المنتج التالية لا مضخة فراغ. مقياس غشاء السعة المضادة للتآكل تم تضمينه في الفراغ حتى 1.0E-6 Torr مضخة فراغ دوارة دوارة مزدوجة المرحلة مع مصيدة بخار للتخلص من رذاذ الزيت ، والذي يمكن أن يصل إلى فراغ يصل إلى 1.0E-2 Torr لتبخير المواد المعدنية النبيلة ، مثل الذهب والفضة والمواد العضوية.
مدخل الغاز	تم بناء 1/4 أنبوب مناسب لتطهير الغرفة أو تشكيل معالجة الغاز صمام إبرة مدمج للتحكم في معدل تدفق الغاز
اختياري	إضافي بوتقة الألومينا و سخان لفائف التنغستن يمكن طلبها في TMAX بتكلفة إضافية يمكن استخدام البوتقات من إجمالي 4 مصادر التبخير لإيداع مواد مختلفة متعددة لتنمية طبقات متعددة واحدة تلو الأخرى في نفس الغلاف الجوي للغرفة.
البعد الشامل
أبعاد غرفة الكوارتز	OD: 165 ملم معرف: 150 مم الطول: 250 ملم
امتثال	شهادة CE
ضمان	ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة
الوزن الصافي	50 كجم
وزن الشحن وأمبير. أبعاد	130 رطلاً ، 40 بوصة × 30 بوصة × 32 بوصة
ملاحظات طلب التقديم	يمكن للمستخدم تحقيق الفراغ العالي المطلوب لتبخير بعض المواد تحقق من الحجرة والحلقة O والشفة بحثًا عن أي جسيم أو ألياف أو خدش. استخدم الأنسجة الخالية من النسالة والمبللة بكحول الأيزوبروبيل (IPA) لمسح السطح وتنظيفه استخدم شريط التسخين لخبز الحجرة عند 150 درجة مئوية وقم بالتسخين المسبق لسخان الملف والبوتقة عند 500 درجة مئوية أثناء الضخ بمضخة توربو اختيارية لمدة ساعتين على الأقل ضخ الغرفة طوال الليل دون تسخين إذا كانت هناك حاجة إلى فراغ أعلى من 1.0E-5 Torr يمكن وضع المغطي في صندوق القفازات الغازي Ar أو N2 للتبخر الحراري للتواضع & amp ؛ ؛ المواد الحساسة للأكسجين ، مثل معدن Li. لا تبدأ برنامج التسخين أو تكثف التيار يدويًا بدون حجرة مغلقة ومكنسة كهربائية! لا تفرج عن الفراغ أو تتوقف عن الضخ عندما يكون المغطي في عملية التبخر! أثناء تبريد السخان ، توقف عن الضخ أو حرر الفراغ فقط عندما تنخفض درجة الحرارة إلى أقل من 100 درجة مئوية!