فئات المنتجات

اتصل بنا

  • إذا كانت لديك أسئلة، يرجى الاتصال بنا، وسيتم الرد على جميع الأسئلة
  • البريد الإلكتروني : [email protected]
  • البريد الإلكتروني : [email protected]
  • إضافة : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
المنتجات
Slliding Furnace

أنبوب مزدوج (100/80 مم) - فرن انزلاق cvd ونظام شفط بالغاز و 4 قنوات

  • Model Number:

    TMAX-1200X-4-C4-SL-U
  • الدفع:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
  • الاتصال الآن
تفاصيل المنتج

أنبوب مزدوج (100/80 مم) - فرن انزلاق cvd و 4 قنوات غاز و أمبير ؛ نظام الشفط


TMAX-1200x-4-C4-SL-ماي يكون نظام cvd مزدوج الأنبوب خاص مصمم لطلاء الأغشية الرقيقة رقائق معدنية ، وخاصة لإعداد القطب مرنة على رقائق معدنية على أبحاث الجيل الجديد للطاقة. التدفئة السريعة و يمكن تحقيق التبريد عن طريق تحريك الفرن. يرجى الرجوع إلى العمليات قسم التعليمات لمعرفة عمليات الفرن:

  • أنبوب الكوارتز المزدوج: 100MM ديا. أنبوب خارجي وعلقت بنسبة 80      مم ديا. الانبوب الداخلي. رقائق معدنية (نمو الجرافين      الركيزة) سوف تكون ملفوفة داخل سطح الأنبوب ل      رد فعل cvd.
  • الشفاه فراغ مختومة      للأنبوب المزدوج ، والذي يسمح للغازات التفاعلية بالتدفق بين أنبوبين (      مساحة 10 ملم) وتدفق غاز خامل داخل الأنبوب للتبريد.
  • 4 قنوات الغاز      يسيطر عليها 4 mfcs الرقمية منفصلة
  • مضخة فراغ هو      المضمنة مع محول kf25 والأنابيب للتوصيل والتشغيل
  • انزلاق السكك الحديدية هو      مثبتة في الجزء السفلي من فرن منطقة واحدة ، والذي يسمح بسرعة      التدفئة أو التبريد عن طريق تحريك الفرن من جانب إلى آخر.
  • وقف شريحة واحدة      يتم تضمين المشبك لعقد موقف الفرن.

كل من منطقة التدفئة ونظام الفراغ يمكن اختيارهما: التدفئة الفردية أو المزدوجة منطقة؛ مضخة فراغ جافة عالية السرعة بدون زيت - vbs-m1 أو مرحلتين مضخة ميكانيكية - vbs-acp15.

مواصفات:

هيكل الفرن

منطقة التدفئة واحدة

  • عالية النقاء al2o3 العزل        غرفة يضمن التوحيد درجة حرارة ممتازة.
  • يتم تثبيت مراوح التبريد في        الجزء السفلي من الفرن لضمان التهوية الفعالة.
  • يتكون التجمع انزلاق شفة        من الفولاذ المقاوم للصدأ.
  • أنبوب الكوارتز المزدوج: 100MM        ديا. أنبوب خارجي ومعلق من قبل 80 مم ديا. داخلي        الة النفخ. رقائق معدنية (الجرافين        الركيزة النمو) سوف تكون ملفوفة داخل سطح الأنبوب ل        رد فعل cvd
  • طول منطقة التدفئة: 440mm
    ثابت طول منطقة التدفئة درجة الحرارة: 120 (° 1 درجة مئوية) @ 400 ~ 1100 درجة مئوية

منطقة التدفئة المزدوجة

  • عالية النقاء al2o3 العزل        غرفة يضمن التوحيد درجة حرارة ممتازة.
  • يتم تثبيت مراوح التبريد في        أسفل الفرن لضمان التهوية الفعالة.
  • كحد أقصى. درجة الحرارة: 1200 درجة مئوية و        درجة حرارة مستمرة: 1100 درجة مئوية.
  • اثنين من مناطق التدفئة التي تسيطر عليها        على حدة:

الاتجاه المزدوج انزلاق القضبان لضمان   الفرن يتحرك بسلاسة.

  • 200MM        طول لكل منطقة التدفئة ، 400 ملليمتر إجمالي طول التدفئة
  • 250MM        منطقة درجة حرارة ثابتة إذا كانت منطقتين التدفئة في نفس درجة الحرارة
  • 500oc كحد أقصى        الفرق في درجة الحرارة إذا وضعت كتلة الحرارية بين منطقتين

قوة

منطقة التدفئة واحدة
الطاقة: 208-240vac ، 50/60 هرتز ، مرحلة واحدة ، 2.5kw (قاطع 20a   مطلوب)

منطقة التدفئة المزدوجة
قوة:   208-240vac ، 50/60 هرتز ، مرحلة واحدة ، 4 كيلو واط (قاطع 50a   مطلوب)
10   كابل الطاقة قدم مع عدم وجود قابس كهرباء (اسأل   كهربائي مرخص للقيام المكونات)

درجة حرارة التدفئة

  • كحد أقصى. درجة الحرارة: 1100 درجة مئوية
  • درجة حرارة مستمرة: 1000 درجة مئوية

التدفئة و أمبير ؛ تبريد   معدل

كحد أقصى. التدفئة والتبريد   معدلات تعتمد على درجة حرارة العمل. يرجى النقر على الجداول أدناه ل   رؤية الحد الأقصى. التدفئة و أمبير ؛ معدل التبريد يختلف في درجة حرارة مختلفة   نطاق.
(يجب معايرة درجة حرارة التدفئة ومعدل التبريد في عملك   حالة قبل الاستخدام)
مؤامرة التدفئة مؤامرة التبريد

أنابيب الكوارتز تنصهر

  • أنبوب الكوارتز عالية النقاء:

اثنين من أزواج من فراغ الشفاه الشفاه مع   سترات تبريد المياه وصمامات إبرة الفولاذ المقاوم للصدأ

  • الأنبوب الخارجي مكافئ-qztube-101D-1400 : od: 4 "x id:        3.8 "× 55" طول (100 × معرف 96 × 1400 مم)
  • في داخل        eq-qztube-80d-1800: od: 3.15: x id x 2.95 "x 70.8"        طول (od 80 × معرف 75 × 1800 مم


الشفاه فراغ

باستخدام أنبوب مزدوج للحث على نمو الأقراص المدمجة على رقائق معدنية (ملفوفة حول   سطح الأنبوب الداخلي):

  • 1-1. هو مبين أدناه ، زوج واحد من        ss304 الشفاه لختم كل من الأنبوب الخارجي والفضاء بينهما        الأنبوب الخارجي وداخل الأنبوب (هذه المساحة تعتبر أ        غرفة التفاعل).
    • شفة الجانب الأيسر: تركيب بارب         مع صمام إبرة كما مدخل الغاز ، مقياس الفراغ الرقمي مع قياس مدى 10 ^ -4 إلى         1000 عربة ،         مياه التبريد مدخل / مخرج المدرجة
    • شفة الجانب الأيمن: الزاوية اليمنى         صمام مع تركيب شفة kf25 ، صمام إبرة الإفراج عن فراغ ، والمياه         التبريد مدخل / مخرج المدرجة

  • 1-2.        اترك طرفي الأنبوب الداخلي مفتوحًا لتبريد الغاز.

فراغ النهائي   الضغط: 10 ^ -2 torr (بواسطة مضخة ميكانيكية)
10 ^ -5 torr (بواسطة مضخة توربو الجزيئية)


تحكم في درجة الحرارة

  • PID التحكم الآلي مع        30 قطعة قابلة للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين ،        معدل التبريد والوقت يسكن.
  • المدمج في أكثر من إنذار درجة الحرارة        والحماية تسمح للتشغيل دون أي مضيف.
  • على        حماية درجة الحرارة والتنبيه يسمح ل        العملية دون المصاحبة.
  • +/- 1 درجة مئوية دقة درجة الحرارة.
  • rs485 ميناء الاتصالات.
    • درجة الحرارة المتقدمة         مراقبة (اختياري)
    • درجة حرارة mts02 ص         مجموعة برامج التحكم (لأجهزة تحكم سلسلة yd518p) + كمبيوتر محمول بحجم 15 بوصة         الحزمة متوفرة في شريط الخيارات. تستطيع ترقية         تحكم في درجة الحرارة إلى EUROTHERM         3504 تحكم في درجة الحرارة وهو متوافق تماما مع         ابفيف. هذه الحزمة تشمل eurotherm 3504 مبرمج ، أ         كابل اتصال (rs485 - usb) وقرص مضغوط للبرنامج. انقر فوق الموافقة المسبقة عن علم         أدناه لعرض المواصفات الكاملة ل eurotherm 3504 تحكم في درجة الحرارة.


متر تدفق الكتلة & أمبير ؛ محطة خلط الغاز

  • 4 دقة تدفق الكتلة        تحكم (MFC) مع العرض الرقمي وضبط مقبض الباب هي        مثبتة على العلبة السفلية اليسرى للتحكم في معدل تدفق الغاز:
  • 4 قنوات الغاز (الاتصال mti        المبيعات إذا لزم الأمر أكثر)
    • MFC         1: نطاق السيطرة من 0 ~ 100 متر مكعب
    • MFC         2: نطاق السيطرة من 0 ~ 200 متر مكعب
    • MFC         3: نطاق السيطرة من 0 ~ 200 متر مكعب
    • MFC         4: نطاق السيطرة من 0 ~ 500 متر مكعب
  • دقة معدل التدفق:٪ 1 ٪        خ
  • مدخل ومخرج الغاز: 1/4 "        موصل أنبوب swagelok
  • واحد 80ML خزان خلط الغاز هو        المثبتة في حالة أسفل
  • كل قناة الغاز لديها        صمام إبرة الفولاذ المقاوم للصدأ لسهولة تشغيل / إيقاف
  • معدل التدفق هو قابل للتعديل        من لوحة mfc

محطة ضخ فراغ و   صمامات

اختياري 1:

  • وفايفر        مضخة شفط جافة عالية السرعة (226 لتر / دقيقة) ، حد 10e-3 torr يكون        تثبيت داخل عربة متنقلة الثقيلة. الرجاء الضغط على الصورة        أدناه لمزيد من التفاصيل.
  • kfd25        مشترك كهربائي و غير القابل للصدأ        أنبوب فولاذي هي        متصلة بين المضخة وأنبوب شفة بدقة كرة        صمام .
  • 10e-2 torr vacuum يمكن أن يكون        يتحقق داخل أنبوب المعالجة
  • رقمي        مقياس الفراغ (مصنوع        في الولايات المتحدة الأمريكية) مثبت على شفة الجانب الأيسر.
  • (اختياري) للفراغ العالي        المستوى إلى 10 ^ -5 torr ، يرجى النظام أدناه المحمول توربو        مضخة .

اختياري 2:

  • الثقيلة دوارة مزدوجة الخطوة دوارة        مضخة فراغ مع فلتر العادم و أمبير ؛ مدخل kf-d25 تم تنصيبه        داخل عربة متنقلة للخدمة الشاقة. الرجاء الضغط على الصورة أدناه لمزيد من المعلومات        تفاصيل.
  • 6.7x10 -4 مليبار        يمكن تحقيق فراغ داخل أنبوب المعالجة
  • رقمي        مقياس الفراغ (مصنوع        في الولايات المتحدة الأمريكية) مثبت على شفة الجانب الأيسر. الرجاء الضغط على        الصورة الثانية أدناه لمزيد من التفاصيل
  • لارتفاع مستوى فراغ ل        10 ^ -5 torr ، يرجى الطلب أدناه المحمول طرببمب بتكلفة إضافية:

وظيفة تبريد المياه

تبريد المياه على الحافة هو أساسا للتبريد أسفل يا الدائري   داخل الحافة لضمان أفضل حجرة مغلقة في درجة حرارة عالية:

  • الشفاه مياه التبريد تتطلب        & gt؛ = 10l / m تدفق المياه.
  • يمكنك استخدام مياه الصنبور كما        مبرد ، لكننا نقترح عليك بشدة استخدام ماء معاد تدويره        مبرد للاعتبارات البيئية. الرجاء الضغط على الإبهام أدناه ل        طلب مبرد المياه بتكلفة إضافية.

أجزاء اختياري (بناء   يصل الفرن أنبوب واحد)

يمكنك بناء 80MM   ديا. غرفة رد فعل أحادية الأنبوب من خلال طلب شفة إحكام إضافية   تثبيتها على الأنبوب الداخلي:

  • شفة الجانب الأيسر: تركيب بارب        مع صمام إبرة كما مدخل الغاز و 1/4 '' المناسب feedthrough ل        العملاء لإدخال جهاز استشعار القياس
  • شفة الجانب الأيمن: kf25 المناسب        مع مقياس الميكانيكية وصمام الإفراج فراغ

البعد

  • الفرن: 550 ×        380 × 520 مم
  • حالة المحمول أسفل × 2: 600 ×        600 × 600 مم (واحد لمحطة خلط الغاز والآخر لمضخة التفريغ)

الشحن

  • وزن الشحن: ~ 800 رطل
  • الشحن عن طريق الشحن مع ثلاثة        المنصات
  • سيتم تطبيق رسوم الصندوق

ضمان

سنة واحدة محدودة   ضمان الشركة المصنعة (الأجزاء المستهلكة مثل أنابيب المعالجة والحلقات   وعناصر التدفئة لا يغطيها الضمان ، من فضلك   طلب بدائل في المنتجات ذات الصلة أدناه).

كمبيوتر محمول ، برامج & amp؛   تحكم wifi (اختياري)

  • كمبيوتر محمول العلامة التجارية الجديدة مع مايكروسوفت        نافذة 10 ومايكروسوفت أوفيس 2013 (نسخة تجريبية مجانية مدتها 30 يومًا)        استعمال.
  • درجة الحرارة على أساس labview        نظام التحكم تمكن المستخدم من التعديل        الملف درجة الحرارة ، وإدارة وصفة المعالجة الحرارية ، وتسجيل البيانات والمؤامرة        ل mti الأفران.
  • جهاز التحكم عن بعد لاسلكية        يوفر ما يصل إلى 300 متر نطاق التشغيل.
  • الميزات المذكورة أعلاه متوفرة        عند الطلب بتكلفة إضافية (تصل إلى 1000 دولار). الرجاء الاتصال بنا للمزيد        معلومات.

· ملحوظة:
البرنامج متوافق فقط مع درجة حرارة اليود في mti   مراقب

الالتزام

  • م        معتمد
  • الكل        المكونات الكهربائية (& gt؛ 24v) حاصلة على شهادة ul / met / csa
  • ال        فرن جاهز لتمرير tuv (ul61010) أو شهادة csa في        تكلفة إضافية.

ملاحظات طلب التقديم

  • تم تصميم أفران أنابيب مع أنابيب الكوارتز        للاستخدام تحت فراغ وانخفاض الضغط العلامة & lt ؛ 0.2 بار / 3 رطل /        0.02 ميجا باسكال
  • انتباه : أ        يجب تثبيت منظم الضغط على مرحلتين على اسطوانة الغاز ل        الحد من الضغط إلى أقل من 3 رطل للتشغيل الآمن.
  • الفيض        يجب أن يقتصر معدل الغازات على العلامة & lt؛ 200 متر مكعب (أو 200)        مل / دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية إلى الأنبوب
  • تعريف الفراغ الحد لجميع أنبوب الكوارتز        أفران: * ضغوط الفراغ قد لا تستخدم إلا بأمان حتى 1000 درجة مئوية
  • انقر هنا ل        تعلم كيفيه التنصيب        الكوارتز / أنبوب السيراميك وفراغ شفة لفرن أنبوب mti .
  • شريحة واحدة        يتم تضمين وقف المشبك لعقد موقف الفرن.

  • بعد        cvd ، يجب نقل الجرافين من محفز المعدن إلى آخر        الركيزة لمعظم التطبيقات. باستخدام الجرافين        نقل الشريط ، يمكن أن تكون منخفضة بقايا.

تحذير

  • عينة سريعة        يمكن تحقيق التبريد عن طريق تحريك غرفة التدفئة بعيدًا. يرجى ارتداء        التروس الواقية مثل بدلة مقاومة للحرارة & amp؛ قفازات إذا كنت تنوي        لنفعل ذلك.
  • لا تلمس        سطح الأنبوب عندما يكون الجو حارا!

CVD Sliding Furnace


1. نحن توريد الآلات مع دعم تكنولوجيا البطارية.

2. نحن العرض مجموعة كاملة من معدات بطارية الليثيوم للبحوث المخبرية ، البحث التجريبي النطاق لين الإنتاج ه.


 Vacuum Tube Furnace


1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية anticollision الداخلية ، تصدير صندوق خشبي التغليف الخارجي.

2 الشحن عن طريق التعبير عن ، عن طريق الجو ، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء لإيجاد الطريقة الأكثر ملاءمة.

3 مسؤولة عن الضرر أثناء عملية الشحن ، سيتم تغيير جزء الضرر لك مجانا.