مدخل الطاقة

• أحادي الطور 220 فولت تيار متردد ، 50/60 هرتز
• 700 واط (بما في ذلك مضخة التفريغ)
• لاستخدام 110 فولت تيار متردد ، سنقوم بتضمين محول لك. الرجاء تحديد الجهد في خيارات المنتج

انتاج الطاقة

• 1600 فولت تيار مستمر
• 40 مللي أمبير كحد أقصى

غرفة فراغ

• غرفة التفريغ: 150 مم ID × 165 مم OD × 150 مم H ، مصنوعة من الكوارتز عالي النقاء
• شفة مانعة للتسرب مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع حلقة O مسطحة

مرحلة العينة مع السخان

• حجم المرحلة: 50 مم ديا.
• نطاق مسافة الاخرق: 25-40 ملم قابل للتعديل
• مرحلة قابلة للدوران بثلاثة أوضاع رش (يتم التحكم فيها عن طريق شاشة تعمل باللمس)
• سخان الركيزة مدمج بدرجة حرارة تسخين قصوى تبلغ 500 درجة مئوية
• تم دمج متحكم درجة الحرارة PID بدقة +/- 1 درجة مئوية في شاشة اللمس

لوحة التحكم

• شاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 6 بوصات مع تكامل PLC لسهولة التشغيل
• يتم دمج مقياس الفراغ ، مقياس تيار الاخرق ، والتحكم في درجة حرارة الركيزة في لوحة شاشة اللمس
• مقابض ضبط على اللوحة الأمامية لسحب الغاز والتحكم في الرش بالتيار
• يمكن الوصول إلى موضع الاخرق ، ومؤقت الاخرق ، وتسجيل العملية من شاشة اللمس

درع

• ستانلس ستيل قفص درع تم تضمينه لمزيد من الحماية

أهداف الاخرق

• متطلبات الحجم المستهدف: 47 ملم ديا. × 2.5 مم كحد أقصى
• يتم تضمين ثلاثة أهداف في الحزمة القياسية للاستخدام الفوري:
• الهدف Au ، 47 ملم ديا. × 0.12 ملم
• Ag الهدف ، 47 ملم ديا. × 0.5 مم
• الهدف النحاس ، 47 ملم ديا. × 2.5 ملم
• أهداف مختلفة متاحة للطلب في MTI

مضخة فراغ
(اختياري)

• منفذ فراغ مدمج KF25 للتوصيل بمضخة تفريغ.
• مطلوب مضخة فراغ مع موصل KF25 ، ولكنها غير مدرجة. يجوز للمستخدم الاختيار
• أ مضخة فراغ ميكانيكية مزدوجة المرحلة لمكنسة كهربائية تصل إلى 1.0E-2 Torr.
• أو أ مضخة توربو لمكنسة كهربائية تصل إلى 1.0E-5 Torr
• يمكن توصيل مضخة التفريغ بمأخذ الطاقة الموجود على يسار المغطي من أجل التحكم الآلي
• 

أبعاد

• 440 مم طول × 330 مم عرض × 455 مم ارتفاع

الوزن الصافي

• 50 كجم

امتثال

• موافقة CE
• شهادة MET (UL 1450) متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية ، يرجى الاتصال بممثل المبيعات لدينا للحصول على عرض أسعار

ضمان

• سنة واحدة محدودة مع دعم مدى الحياة

ملاحظات طلب التقديم

• للحصول على أفضل قوة التصاق طبقة رقيقة ، يرجى تنظيف سطح الركيزة قبل الطلاء:
• التنظيف بالموجات فوق الصوتية باستخدام الحمامات المتتابعة التالية - (1) أسيتون ، (2) كحول الأيزوبروبيل - لإزالة الزيت والشحوم. قم بتفريغ الركيزة باستخدام N2 ، ثم قم بالخبز الساخن في الفراغ لإزالة الرطوبة الممتصة
• قد تكون هناك حاجة إلى تنظيف البلازما لتخشين السطح ، أو تنشيط الروابط الكيميائية السطحية ، أو إزالة التلوث الإضافي
• يمكن تطبيق طبقة عازلة رقيقة (حوالي 5 نانومتر) ، مثل Cr ، Ti ، Mo ، Ta ، لتحسين التصاق المعادن والسبائك

• يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين (غير مدرج) على أسطوانة الغاز للحد من ضغط إخراج الغاز إلى أقل من 0.02 ميجا باسكال للاستخدام الآمن. الرجاء استخدام & GT. 5N نقاوة Ar غاز الاخرق البلازما
• يمكن وضع المغطي بالرش في صندوق قفازات غاز Ar و N2 للطلاء
• الجهد العالي! رؤوس الرش تتصل بالجهد العالي. من أجل السلامة ، يجب على المشغل إيقاف تشغيل الجهاز قبل تحميل العينة وعمليات تغيير الهدف
• هذا النموذج غير مناسب لطلاء المواد المعدنية الخفيفة مثل Al ، Mg ، Zn ، Ni ، إلخ بسبب الطاقة المنخفضة. يرجى النظر في المغطي بالرش المغنطروني أو المغطي بالتبخير الحراري. انقر فوق الصور أدناه لمزيد من التفاصيل