فئات المنتجات

اتصل بنا

  • إذا كانت لديك أسئلة، يرجى الاتصال بنا، وسيتم الرد على جميع الأسئلة
  • WhatsApp : +86 13003860308
  • البريد الإلكتروني : David@tmaxcn.com
  • البريد الإلكتروني : Davidtmaxcn@gmail.com
  • إضافة : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
المنتجات
Plasma Sputtering Coater

آلة طلاء الاخرق بالبلازما التوافقية مع ثلاثة مصادر رش مغنطرون مقاس 2 بوصة وطاقة RF / DC

  • Model Number:

    VTC-600-3HD-LD
  • ميناء الشحن:

    Xiamen
  • MOQ:

    1
  • الدفع:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
تفاصيل المنتج


مغطي رش بلازما اندماجي مع ثلاثة مصادر رش مغنطرون مقاس 2 بوصة وإمدادات طاقة RF / DC

VTC-600-3HD-LD عبارة عن نظام ترشيش بلازما اندماجي مع ثلاثة مصادر رشاش مغنطرون 2 "وثلاثة مصادر طاقة RF / DC. نظام الرش هذا قادر على التبخير المشترك لما يصل إلى ثلاث مواد مستهدفة مختلفة وإنشاء ملفات تعريف تكوين مختلفة عبر الركيزة (مثل المواد الثلاثية لبطارية Li-ion القابلة لإعادة الشحن) . هذا النظام مناسب أيضًا للطلاء المتسلسل لأغشية متعددة الطبقات مثل الفيروكهربائية ، السبائك ، أشباه الموصلات ، السيراميك ، العازل الكهربائي ، البصري ، الأكسيد ، الصلب ، PTFE ، إلخ.


تحديد


هيكل مدمج


مدخل الطاقة

  • أحادي الطور 220 فولت تيار متردد 50/60 هرتز
  • 2000 واط (بما في ذلك مضخة التفريغ ومبرد الماء)




مصدر الطاقة

  • تم دمج ثلاثة مصادر طاقة متلألئة في مربع تحكم واحد (انقر فوق الصورة أدناه للاطلاع على المواصفات التفصيلية)
    • مصدر تيار مستمر: 500 واط لطلاء المواد المعدنية (صورة 1)
    • مصدر الترددات اللاسلكية: قوة 300 واط ، تردد 13.56 ميجا هرتز لطلاء المواد غير الموصلة (صورة 2)






رأس الاخرق المغنطروني

  • ثلاثة رؤوس رش مغنطرون بقطر 2 بوصة مع سترات تبريد المياه ومصاريع متضمنة
  • يتوفر أيضًا نموذج رأس رشاش واحد.
    • متطلبات الحجم المستهدف: 2 "قطر
    • نطاق السماكة: 0.1 - 5 مم لكل من الأهداف المعدنية وغير الموصلة (بما في ذلك لوحة الدعم)
    • واحد الهدف الفولاذ المقاوم للصدأ ودرجة بحث واحدة هدف Al2O3 يتم تضمينها للاختبار التجريبي
    • تتوفر أهداف رشاشة اختيارية مقاس 2 بوصة (أو لوحة دعم) عند الطلب بتكلفة إضافية.
    • وصفة الاخرق الموصى بها ونصائح مفيدة
  • المغطي حسب الطلب: اثنان DC - واحد RF ؛ اثنان RF - واحد DC ؛ ثلاثة العاصمة ثلاثة RF (يرجى الاختيار من خيارات المنتج)
  • اختياري: يمكن طلب كبل RF بطول 148 سم بتكلفة إضافية لاستبداله




غرفة فراغ

  • غرفة التفريغ: 300 مم ديا. × 300 مم الارتفاع ، مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ
  • منفذ العرض: قطعتان بقطر 100 ملم. زجاج. واحد ثابت واحد قابل للفصل للتنظيف والاستبدال
  • غطاء من النوع المفصلي مع عمود طاقة هوائي يسمح بتغيير الهدف بسهولة




مرحلة العينة

  • حامل العينة عبارة عن مرحلة قابلة للدوران وقابلة للتسخين مصنوعة من سخان خزفي بغطاء نحاسي
  • حجم حامل العينة: 140 ملم ديا. إلى عن على. 4 "رقاقة كحد أقصى
  • سرعة الدوران: 1 - 20 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل لطلاء موحد
  • درجة حرارة الحامل قابلة للتعديل من RT إلى 500 درجة مئوية كحد أقصى (ساعتان كحد أقصى) بدقة +/- 1.0 درجة مئوية عبر وحدة تحكم في درجة الحرارة الرقمية

التحكم في تدفق الغاز

  • تم تركيب جهازي تحكم دقيقين في التدفق الكتلي (MFC) للسماح بدخول نوعين من الغازات

    • معدل التدفق: 0-200 مل / دقيقة & أمبير ؛ 0-100 مللي / دقيقة قابلة للتعديل على لوحة التحكم بشاشة اللمس
  • تم تركيب صمام مدخل الهواء من أجل تحرير الفراغ

محطة ضخ الفراغ

  • يتم تضمين محطة ضخ متنقلة. يمكن وضع المغطي بالرش فوق المحطة
  • يتم دمج مضخة توربو عالية السرعة بسرعة 80 لترًا / ثانية مع مضخة ميكانيكية ذات مرحلتين (220 لترًا / دقيقة) لتحقيق أقصى مستوى للفراغ وسرعة ضخ أسرع
  • مستوى الفراغ القياسي المتصل بالغرفة: & lt؛ 4.0E-5 تور. . (1.0E-6 تور مع غرفة الخبز)
  • اختياري بتكلفة إضافية
  • إذا اخترت مضخة توربو عالية السرعة سعة 150 لترًا / ثانية ، يمكن أن تصل الفراغ إلى 10-6 تور مع الحجرة (6 × 10-7 تور مع الخبز)
  • بالنسبة للفراغ الفائق حتى 10 ^ -7 تور ، هناك حاجة لمضخة جامدة (100 لتر / ثانية H2 & amp؛ O2) بالإضافة إلى مضخة التوربو. يرجى استشارة مهندسينا للتخصيص التفصيلي.
  • مضخة توربو عالية السرعة 150 لتر / ثانية
  • مضخة جتر

براد مياه

  • تحكم بدرجة حرارة رقمية واحدة مبرد الماء المعاد تدويره متضمن.
  • نطاق التبريد: 5 ~ 35 درجة مئوية
  • معدل التدفق: 16 لتر / دقيقة
  • ضغط المضخة: 14 رطل / بوصة مربعة




اختياري

  • الكوارتز الدقيق مراقب سمك الفيلم اختياري ، يمكن أن يكون في الحجرة لمراقبة سماكة الطلاء بدقة 0.10 Å
  • دقة رقيقة وأمبير. أنظمة تحليل الطلاء - EQ-TFMS-LD متوفر بتكلفة إضافية
  • تتوفر أهداف مختلفة من الأكسيد والمعدن مقاس 2 بوصة عند الطلب بتكلفة إضافية. يمكن طلب ألواح دعم الإيبوكسي الفضية والنحاسية من TMAX


الابعاد الكلية

الوزن الصافي للمغطي

  • 160 كجم

وزن الشحن وأمبير. أبعاد

  • إجمالي 3 منصات
  • 365 رطلاً ، 48 بوصة × 40 بوصة × 45 بوصة

  • 390 رطلاً ، 48 بوصة × 40 بوصة × 49 بوصة

  • 210 رطلاً ، 48 بوصة × 40 بوصة × 30 بوصة

امتثال

  • موافقة CE
  • شهادة MET (UL 1450) متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية ، يرجى الاتصال بممثل المبيعات لدينا للحصول على عرض الأسعار.

ضمان

  • ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة

ملاحظات طلب التقديم

  • يجب تثبيت منظم ضغط من مرحلتين (غير مدرج) على أسطوانة غاز للحد من ضغط إخراج الغاز أقل من 0.02 ميجا باسكال للاستخدام الآمن
  • من أجل إزالة الأكسجين من الغرفة ، تقترح TMAX استخدام 5٪ هيدروجين + 95٪ نيتروجين لتنظيف الغرفة 2-3 مرات ، مما قد يقلل من مستوى الأكسجين إلى & lt ؛ 10 جزء في المليون
  • الرجاء استخدام & GT. 5N نقاء غاز الأرجون لرش البلازما. على الرغم من أن نقاوة 5N Ar تحتوي عادةً على 10 - 100 جزء في المليون من الأكسجين و H2O اعتمادًا على المورد. يقترح عليك TMAX استخدام ملفات جهاز تنقية الغاز لتنقية الغاز قبل ملئه.
  • للحصول على أفضل أداء ، يجب تثبيت الأهداف غير الموصلة بلوحة دعم نحاسية. يرجى الرجوع إلى فيديو التعليمات أدناه للربط الهدف
  • يوفر TMAX ركيزة بلورية مفردة من الألف إلى الياء
  • قامت TMAX Sputtering Coaters بتغطية ZnO بنجاح على Al 2 ا 3 الركيزة عند 500 درجة مئوية
  • اختبار مرونة الأغشية الرقيقة / القطب المطلي مع EQ-MBT-12-LD مغزل الانحناء اختبار .
  • الجهد العالي! رؤوس الرش تتصل بالجهد العالي. من أجل السلامة ، يجب على المشغل إيقاف تشغيل مولد التردد اللاسلكي / التيار المستمر قبل تحميل العينة وعمليات تغيير الهدف
  • لا تستخدم ماء الصنبور في مبرد الماء. يجب استخدام مبردات الحماية من الصدأ لمنع الصدأ والتآكل.

Coater