فئات المنتجات

اتصل بنا

  • إذا كانت لديك أسئلة، يرجى الاتصال بنا، وسيتم الرد على جميع الأسئلة
  • البريد الإلكتروني : [email protected]
  • البريد الإلكتروني : [email protected]
  • إضافة : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
المنتجات
Sliding PECVD System

1200 zones مناطق مزدوجة انزلاق نظام pecvd

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200
  • الدفع:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
  • الاتصال الآن
تفاصيل المنتج

1200 zones مناطق مزدوجة انزلاق نظام pecvd


TMAX-1200-1200 يتألف نظام pecvd للمنزل ذو درجة الحرارة المزدوجة من TMAX-1200-1200 زلة من نوع فرن درجة حرارة فراغ أنبوب ، غرفة فراغ الكوارتز ، الراديو تردد امدادات الطاقة ، ونظام امدادات الغاز gx ، ونظام الضخ والفراغ نظام القياس.

الخصائص الرئيسية:

1. الغاز في يتم تغيير غرفة فراغ الكوارتز إلى الحالة الأيونية عن طريق إمدادات الطاقة RF.

2. pecvd هو أقل من cvd العادي لترسيب البخار الكيميائي

3. ضغوط يمكن السيطرة على الأفلام المودعة بواسطة تردد إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية

4. pecvd ديه ارتفاع معدل ترسب ، التوحيد الجيد ، والاتساق والاستقرار من المعتاد الأمراض القلبية الوعائية.

5. تستخدم على نطاق واسع في نمو مختلف الأفلام ، مثل siox ، sinx ، sioxny وغير المتبلور السيليكون (a-si: h) ، إلخ.

هذه الشريحة تقنية tl1200-1200 نوع مزدوج درجة الحرارة نظام pecvd هو التدفئة السريعة ، درجة حرارة تقنية نظام pecvd التبريد ، في نطاق درجة حرارة نظام مزدوج pecvd مثبت على زوج من السكك الحديدية الشريحة ، تقنية المتاحة نظام انزلاق يدوي.

التدفئة و معدل تبريد يصل إلى 100 درجة مئوية / دقيقة.

للحصول على أسرع التدفئة ، تسخين الموقد إلى درجة الحرارة المحددة مسبقا ، ثم التحرك الفرن إلى موقف العينة.

للحصول على أسرع تبريد ، انقل الموقد إلى الطرف الآخر بعد تسخين العينة.

التدفئة و معدل التبريد تحت فراغ أو بيئة غاز خامل يمكن أن تصل إلى 10 درجة مئوية / ثانية ، هو منخفض تكلفة التدفئة السريعة والتبريد نطاق درجة حرارة نظام pecvd مزدوجة تقنية.

1. kanthal سلك المقاومة a1 من السويد

KANTHAL a1 الأصلي سلك المقاومة الصينية فرن سلك مقابل   المستوردة سلك المقاومة الفرن

(1) ، ارتفاع درجة حرارة السطح يمكن أن تصل إلى 1420

(2) السطح هو الفولاذ المقاوم للصدأ (مشرق للغاية ، العميل يجب الانتباه إلى ذلك) ، فإنه لن الصدأ ، ولن يسقط وقت الاستخدام قبالة الخبث.

(3) يتم تنزيل بيانات سلك مقاومة kanthal

(4) موقع سلك مقاومة kanthal: www.kanthal.com

(5) المقاومة متوازنة ومجال درجة الحرارة جيد على قدم المساواة

معظم الشركات المصنعة تستخدم سبائك الحديد كروية مخدر بواسطة مو سلك المقاومة ، والتي

في بعض الأحيان تكون المقاومة غير متساوية وجزء من الحرارة صغير                                           KANTHAL a1 المقاومة موحدة ومتوازنة الحرارة ، حقل درجة حرارة جيدة                                                                                                                                                                       تأثير

2. تركيب الهواء التبديل و تسرب حامي:

عندما يكون التيار الكهربائي أو التسرب ، اجتماع فارغ قطع الاتصال تلقائيا.

3. يمكن الاتصال مع الكمبيوتر

تم تجهيز هذا الفرن مع واجهة الاتصالات و البرنامج ، يمكن أن يكون مباشرة من خلال التحكم في الفرن الكمبيوتر من كل المعلمة ، ويمكن ملاحظتها من الكهروضوئية الكمبيوتر على الموقد و sv قيمة درجة الحرارة وتشغيل الصك ، ودرجة الحرارة الفعلية لل منحنى الفرن رسم الكمبيوتر في الوقت الحقيقي ، ويمكن الحفاظ على بيانات درجة حرارة في كل مرة ، يمكن الاتصال في أي وقت

4. غرفة

(1 ) جودة عالية عالية الألومينا نقية الكريستالات فرن الشفاء من الألياف مع شفط فراغ وصب مرشح.

(2). اعتماد التكنولوجيا اليابانية لتشكيل.

(3). التباعد ونبرة سلك المقاومة في الفرن يتم ترتيبها وفقا لأفضل التكنولوجيا الحرارية في اليابان ، و يتم محاكاة مجال درجة الحرارة عن طريق البرامج الحرارية

(4). باستخدام 4 أسابيع التدفئة ، ودرجة الحرارة أكثر توازنا

5. المجاهدين اختياري لوح كهربائي معتمد (كل ذلك من خلال شهادة ul المستوردة الأجهزة الكهربائية)

6. الزناد

لينة بداية الزناد الحد الحالي                           تستخدم معظم الشركات المصنعة مشغلات bode شيامن غير الحد

1 مرحلة التحول الزناد (مع بداية لينة والحد الحالي وظيفة)

2. وظيفة الحد الحالي بغض النظر عن كيفية ضبط التدفئة الوقت نحن الفرن الكهربائي بعد يقتصر الحالي محول الثانوية ل 170a أو أقل حماية محدودة من المعدات. غير محدود الزناد إذا يتم تعيين معدل التدفئة بشكل غير صحيح أو سريع للغاية. الحالية المنخفضة الحالية هي جدا كبير سوف الجهاز رحلة أو يحترق.

3 بداية لينة وظيفة الحالية سوف تزيد ببطء الحالي تأثير عنصر التدفئة صغير يفضي إلى تمديد حياة عنصر التدفئة

4 - وظيفة الحماية إذا كان التيار يتجاوز الحد الحالية سوف الزناد تلقائيا قطع وظيفة الزناد لقطع فرن الحماية الحالي.

7. المجاهدين محول معتمد

1 - كابل محول نقي نحاس

2 صوت المحولات الصغيرة

3 درجة حرارة المحولات منخفض

8. مجموعة متنوعة من الخيارات لاختيار مجموعة متنوعة من الشفاه (القطر من 25 إلى 250 مم)

نموذج

tmax-1200-1200 - أنا

TMAX-1200-1200-II

TMAX-1200-1200 والثاني والثالث

TMAX-1200-1200-IV

قوة

3 كيلو واط

3 كيلو واط

4 كيلو واط

4 كيلو واط

الة النفخ   بحجم

120   (od) ضياء x1800mm

60   (od) ضياء x1800mm

80   (od) ضياء x1800mm

100   (od) ضياء x1800mm

شاملة   أبعاد (lxdxh)

1800   x480x680

1800   x410x610

1800   x410x610

1800   x460x660

ال   امدادات الطاقة الجهد

220 فولت

الانزلاق   المواد الحديدية

304   الفولاذ المقاوم للصدأ

انزلاق   الوضع

غير القابل للصدأ   تحمل الصلب المتداول

رقم   المرحلة

غير مرتبطة   مرحلة

تدفئة   جزء

استيراد   الكانتون السويدي a1 سلك المقاومة انقر في تنزيل البيانات

ال   وضع التحكم

باستخدام يو الكهربائية ترمومتر التحكم في البرنامج (قياسي)
1. 30 برنامج التحكم في درجة الحرارة تعديل PID ذكي.
2. يمكن قطع دائرة التسخين للفرن الكهربائي تلقائيًا   عندما تم حمايتها من قبل دافئة أو مكسورة عن طريق الخطأ. (عند الفرن   درجة الحرارة تتجاوز 1200 درجة أو كسر الحرارية ، تتابع التيار المتردد   على الدائرة الرئيسية سيتم قطع الاتصال تلقائيا ، الدائرة الرئيسية هي   مكسورة ، الضوء على لوحة خارج ، قبالة الضوء ، واقية محدودة   الفرن الكهربائي.
3. مع 485 واجهة الاتصالات (قياسي ومعيار للاختيار   البرمجيات)
4. لديه وظيفة حماية انقطاع التيار الكهربائي ، وهذا هو ، عندما السلطة   متوقف ، البرنامج لن يبدأ من درجة حرارة البداية ، ولكن   سوف يبدأ الفرن بالارتفاع عند انقطاع التيار الكهربائي.
الصك لديه وظيفة ضبط درجة الحرارة الذاتي

(لاستبدال الأداة المستوردة ، نحن بحاجة إلى الدفع   رسوم أخرى.)

fp93   الجدول التحكم في درجة الحرارة (شيمادن) أوروبية   الادوات

أداة تعمل باللمس

ال   وضع التحكم في درجة الحرارة

معرف المنتج

كسر   حتى الحماية والعرض

نعم

على   حماية درجة الحرارة

نعم

على   الحماية الحالية

نعم

مراقبة   الاحكام

+ / -   1

ال   اثار

مرحلة   تحول الزناد

الكهرباء   الأجهزة

تشجيانغ   CHINT

السيليكون   مقوم مضبوط

106 / 16E   بوابة الغرب ، ألمانيا

ال   أعلى درجة حرارة

درجة الحرارة   المنطقة 1: 1200 درجة حرارة المنطقة 2: 1200

ال   درجة الحرارة في التصنيف

درجة الحرارة   المنطقة 1: 1100 درجة حرارة المنطقة 2: 1100

تدفئة   معدل

ال   20 / دقيقة أو أقل (يمكن تعديلها وفقًا للمتطلبات)

موصى به   معدل التسخين

10 / دقيقة أو أقل

نموذج   من الحرارية

مناطق   1: نطاق درجة حرارة k نوع 2: k نوع

تدفئة   الطول

مناطق   1: نطاق درجة حرارة 200 ملم. 2: 200 ملم

الكهرباء   شهادة

م

المحيط   الحرارة السطحية

45 او اقل

الترددات اللاسلكية   مزود الطاقة

(مولد البلازما)

قوة   مجموعة الانتاج

0-500   ث

أقصى   السلطة المنعكسة

200   ث.

العمل   تكرر

الترددات اللاسلكية:   13.56 ميجا هرتز زائد أو ناقص 0.005٪

قوة   المزيد

+ / -   0.1٪

متناسق   مكون

- 50   أو أقل ديسيبل

الترددات اللاسلكية   عرض

0-600   - مم قابل للتعديل

مطابقة   الوضع

تلقائي

تبريد   الوضع

هواء   البرد

الضوضاء

ال   العلامة & lt؛ 50 ديسيبل

ال   واجهة تردد الراديو

50 Ω   ن - النوع

إدخال   قوة

208-240   - الخامس 50/60 هرتز

الأساسية   معلمات نظام امدادات الغاز gx

كتلة   عداد التدفق
النطاق القياسي
باستخدام وحدة التحكم في تدفق البروتون 5 ، 10 ، 20 ، 30 ، 50 ، 100 ، 200 ، 300 ، 500 متر مكعب في اليوم ،   1 ، 2 ، 3 ، 5 ، 10
(يمكنك اختيار نطاق المدى ونوع الغاز)
أقصى ضغط العمل 3 النائب
دقة زائد أو ناقص 1.5 ٪
انخفاض الضغط العلامة & lt ؛ 0.01 ميجا باسكال & lt؛ p = "" & gt؛
كرر الدقة زائد أو ناقص 0.2٪ fs

قنوات إذاعية:

1 ، 2 ،   3 ، 4 ، 5 ، 6 ، 7 ، 8 (اختياري)

مشترك   اكتب

مزدوج   شريط كاسيت الفولاذ المقاوم للصدأ

النظام   نطاق ضغط العمل

0.1 ~   0.5 ميجا باسكال

العمل   درجة الحرارة

5-45

الضغط   مشاهدة الفراغ

0.1 ~   0.15 ميغاباسكال إلى 0.01 ميغاباسكال / القضية

ثابتة   حجرة الخلط

dia50   × 400 مم

واجهه المستخدم

dia6   1/4 "

ال   مزود الطاقة

220 فولت

بحجم

600   x600x600

المموج   يضخ

kf25x1000mm

ال   درجة فراغ يمكن الوصول إليها مع هذا النظام

10-1   البا

مكنسة كهرباء   صمام يربك

KF25

VRD   إلى 8 مضخة فراغ

نموذج

VRD   الى 8

الحد   ضغط جزئي

5   x10-2 سنويا

مدخل   واجهة العادم

KF25

محرك   سرعة

1440   دورة في الدقيقة

استخلاص   معدل

2.2   لتر / ثانية

محرك   قوة

0.4   كيلووات

perfeer   مضخة جذور متعددة المراحل خالية من الزيت acp1 (خطة 2)

نموذج

acp15

قوة   يتبرع

AC100   ~ 240 فولت 50/60 هرتز

قوة

450 واط

العادم   واجهه المستخدم

KF25

وزن

25 كجم

ال   الحد الأقصى لمعدل تسرب الهيليوم هو

5 ·   10-8 باسكال م 3 / ث

شديد   درجة فراغ

0.02   عربة

ال   معدل الاستخراج هو

14 م 3   / ساعة

نموذج

zdr -   1

قوة

25 واط.

مكنسة كهرباء   نطاق قياس درجة

،1-10   5 سنويا

مقاومة   السيليكون

ماذا   كان ZJ إلى 52 ر

السويد   (inficon) pirani فراغ السعة متر (اختياري)

نموذج

pcg554

إدخال   الجهد االكهربى

24V   1a dc (مجهزة محول 220 فولت)

مكنسة كهرباء   واجهة قياس

kf16

رقمي   عرض

رقمي   عرض (حجم الشاشة 20 × 14 مم) ، وحدة عرض البيانات الخاصة به هي torr

المنتج   بحجم

46MM   × 28 مم × 126 مم (س س س س)

ال   وزن

5 رطل

كشف   الغاز

مختلف   يمكن كشف الغازات بما في ذلك الغازات المختلطة ، دقيقة وقابلة للتكرار

سواء   المضادة للتآكل

تآكل   الحماية

ال   وقت الاستجابة

30 مللي ثانية   او اقل

قياس   نطاق

3.8   10-10-5-1125 تور.

جزيئي   وحدة المضخة (اختياري)

وحدة   مساهمة الجهد

380 فولت   / 220 فولت

المموج   يضخ

kf40x1000

مكنسة كهرباء   صمام يربك

kf40

قضية   بحجم

600   x600x600

جزيئي   نموذج المضخة

fj620

إدخال   الجهد االكهربى

380 فولت

جزيئي   مضخة مدخل شفة

dn160

جزيئي   مضخة ضخ معدل لتر / ثانية (للهواء)

600

جزيئي   ضغط مضخة الحد (سنويا)

6 ×   10-7

تبريد   النظام

ماء   تبريد

تبريد   ضغط المياه (الأم)

0.1   إلى 0.2

تبريد   درجة حرارة الماء

العلامة & lt؛   25 العلامة & lt؛ p = "" & gt؛

ال   درجة حرارة البيئة

0 ~   40

اقترحت   ضغط الانطلاق

العلامة & lt؛   100 سنويا & lt؛ p = "" & gt؛

محرك   مضخة فراغ rvp - 6

قوة

0.75   كيلووات

الجهد االكهربى

380 فولت

سرعة

1450   دورة في الدقيقة

مدخل   قطر الدائرة

KF25   / kf40

مضخة   معدل الضخ (لتر / ثانية)

6

أقصى   الضغط

4   x10-2 سنويا

ألمانية   مضخة فراغ pfeiffer

الجهد االكهربى

220 فولت

قوة

110   ث.

استخلاص   واجهه المستخدم

kf40

ال   وزن

150   كلغ

مضخة   سرعة المضخة الأمامية

0.9 م   3 / ح

استخلاص   معدل (n2)

33   السيدة

مركب   مقياس الفراغ

مركب   نموذج قياس الفراغ

زد دي اف

ال   مزود الطاقة

220 فولت   55 واط

مراقبة   الاحكام

زائد   أو ناقص 1 ٪

مكنسة كهرباء   قياس مدى القياس

10-5-10   5 سنويا

القطع

رقم

tl1200-1200   فرن أنبوب

1 مجموعة

كوارتز   الة النفخ

1

SS   شفة

1 مجموعة

غير القابل للصدأ   ربط الصلب

1

الألومينا   المكونات الفرن

3

عالي   قفازات درجة الحرارة

1   زوج

الألومينا   بوتقة

1

K المزدوجة الحرارية

1

485   تحويل واجهات والبرمجيات ( اختياري )

1 مجموعة

تعليمات   كتاب

1

شفة   الدعم

1

غاز   نظام العرض

1

مشاهدة مباراة-0.1air   نظام استخراج

1

الترددات اللاسلكية   قوة

1

الطويق

4

أدناه

1

مكنسة كهرباء   صمام يربك

1

سيل   الموصل ( ن تقف على عدد من القنوات )

ن

صمام   الموصل

2

السليكوون   ماسورة (عدد المواسير n)

ن * 5

PECVD Furnace


1. نحن توريد الآلات مع دعم تكنولوجيا البطارية.

2. نحن العرض مجموعة كاملة من معدات بطارية الليثيوم للبحوث المخبرية ، البحث التجريبي النطاق لين الإنتاج ه.


laboratory muffle furnace


1 الحزمة القياسية المصدرة: حماية anticollision الداخلية ، تصدير صندوق خشبي التغليف الخارجي.

2 الشحن عن طريق التعبير عن ، عن طريق الجو ، عن طريق البحر وفقا لمتطلبات العملاء لإيجاد الطريقة الأكثر ملاءمة.

3 مسؤولة عن الضرر أثناء عملية الشحن ، سيتم تغيير جزء الضرر لك مجانا.