فرن CSS للمختبر ذو منطقتين للمعالجة الحرارية السريعة حتى 5 "ديا ويفر بحد أقصى 800 درجة مئوية - OTF-1200X-RTP-II-5

OTF-1200X-RTP-II-5 هو فرن معالجة حرارية سريع مع غرفة كوارتز 11 بوصة ، وهو مصمم للتبخير الحراري أو CSS ( إغلاق تسامي متباعد ) طلاء الفيلم حتى 5 "ديا. عينات دائرية و 800 درجة مئوية كحد أقصى. يتم تسخين الفرن بواسطة مجموعتين من سخانات الهالوجين (العلوي والسفلي) بشكل منفصل مع حد أقصى. 10 درجة مئوية / ثانية معدل التسخين. تم بناء جهازي تحكم في درجة الحرارة بدقة 30 قطعة بدقة +/- 1 درجة مئوية. يتم تضمين منفذ RS485 وبرنامج التحكم للسماح بتشغيل الفرن وتسجيل ملف تعريف درجة الحرارة عبر الكمبيوتر. إنها أداة ممتازة للبحث عن الجيل الجديد من الأغشية الرقيقة للخلايا الشمسية ، مثل CdTe و Sulfide و Perovskite الخلايا الشمسية.

تحديد:

هيكل الفرن وأمبير. غرفة فراغ	· اثنين من وحدات التحكم في درجة الحرارة. · الحجرة مصنوعة من أنبوب كوارتز مصهور عالي النقاء. · حجم أنبوب الكوارتز: 11 "OD / 10.8" ID × 9 "H. · حواف التفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316.
شفرات فراغ	· يمكن أن تنزلق الحافة العلوية مع منفذ تفريغ واحد KFD-25 ومنفذ غاز واحد (مطلوب أنبوب 1/4 بوصة) لأعلى أو لأسفل يدويًا لتحميل وتفريغ الركيزة والمواد المبخرة بسهولة. · تحتوي الحافة السفلية على منفذ تفريغ واحد KFD-25 مع مدخل غاز واحد (مطلوب أنبوب 1/4 بوصة) مع صمامات إبرة. · يتم ختم الحافة بواسطة حلقات مزدوجة من السيليكون ويمكن أن تحقق الحد الأقصى. ضغط الفراغ لـ 10E-2 Torr بواسطة مضخة ميكانيكية عالية الجودة و 10E-5 Torr بواسطة مضخة جزيئية (مضخة التفريغ غير متضمنة ، يرجى الطلب بشكل منفصل). · يتم تثبيت مقياس فراغ رقمي واحد على الحافة العلوية. · مقياس الفراغ الرقمي الدقيق المضاد للتآكل موجود في العبوة القياسية (منذ 2016.03.24) .
التحكم في تدفق الغاز	خلاط غاز متكامل مع اثنين من العوامات مع نطاقات قياس قابلة للتعديل من 16-160 مل / م
حامل السخان والعينة	· اثنان من السخانات التي يتم التحكم فيها بشكل مستقل مع فجوة قابلة للتعديل يدويًا من 2 إلى 30 مم. · تستخدم مصابيح الهالوجين 20 قطعة كعنصر تسخين للمعالجة الحرارية السريعة. · السخانات مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع سترة الماء البارد لتقليل الإشعاع الحراري والسماح بالتبريد السريع. · 5 "ديا. حامل البسكويت الدائري مدمج في السخان العلوي لتثبيت الركيزة. · يتم تضمين مجموعة واحدة من ألواح AlN عالية التوصيل الحراري أو لوح الجرافيت (5 "Dia. x 0.5mm Thick) (ضعها في الجزء السفلي لمواد التبخير) · يتم تضمين مبرد مياه متداول سعة 58 لترًا / دقيقة لتوفير مصدر المياه (انقر فوق الصورة أدناه للاطلاع على المواصفات التفصيلية).
تحكم في درجة الحرارة	· توفر اثنين من وحدات التحكم في درجة الحرارة الرقمية الدقيقة مع 30 قطعة قابلة للبرمجة تحكمًا مستقلاً في السخانات العلوية والسفلية. · تحتوي كل وحدة تحكم على وظيفة PID autotune لحماية السخانات من التجاوز ووظيفة الإنذار لتجنب ارتفاع درجة الحرارة وكسر الزوجين الحراريين. · واجهة اتصالات الكمبيوتر & أمبير ؛ تم تثبيت البرنامج لتسجيل ملف تعريف درجة الحرارة كما هو موضح أدناه. ·
درجة حرارة العمل	· أقصى درجة حرارة لكل سخان: العلامة & lt ؛ = 800 درجة مئوية. · أقصى فرق في درجة الحرارة بين سخانين: & lt ؛ = 300 درجة مئوية يعتمد على التباعد بين سخانين: ا تباعد 30 ملم كحد أقصى. فرق درجة الحرارة: 315 درجة مئوية @ تسخين القاع فقط
تدفئة وأمبير. معدل التبريد	· تدفئة: العلامة & lt؛ 8ºC / s (تسخين السخان الفردي فقط) · التبريد: العلامة & lt؛ 10 درجة مئوية / ثانية (600-100 درجة مئوية) كحد أقصى.
زوجان حراريان	يتم تثبيت اثنين من الأزواج الحرارية من النوع K على السخانات العلوية والسفلية بشكل منفصل.
طاقة كهربائية شغالة	220VAC ، أحادي الطور ، مطلوب قاطع هواء 60 أمبير
متطلبات الطاقة	9.5KW الإجمالي
أبعاد	1085 مم طول × 680 مم عرض × 1710 مم ارتفاع
وزن الشحن وأمبير. البعد	· لوحتان: 525 رطلاً و 48 بوصة × 40 بوصة × 87 بوصة و 165 رطلاً بأبعاد 39 × 31 × 29 بوصة
اختياري	· مطلوب مضخة فراغ واحدة. يرجى الطلب بشكل منفصل عن طريق النقر على الصورة الأولى من اليسار أدناه. يمكن أن يصل مستوى الفراغ إلى العلامة & lt ؛ = 10E-2 تور بواسطة مضخة ميكانيكية. · إذا قمت بتشغيل غاز تآكل ، يرجى مراعاة استخدام المضخة الجافة المضادة للتآكل الموضحة في الصورة الثانية من اليسار أدناه (مضخة فايفر من ألمانيا) بتكلفة إضافية. · يمكنك اختيار نظام توصيل الغاز الرقمي MFC بالنقر فوق الصورة الأولى من اليمين أدناه.
ضمان	عام واحد محدود مع دعم مدى الحياة (لا يشمل الضمان الأجزاء المستهلكة مثل أنبوب الكوارتز ومصابيح التدفئة).
الكمبيوتر المحمول والبرمجيات وأمبير. تحكم WiFi (اختياري)	· كمبيوتر محمول جديد تمامًا مع Microsoft Window 10 و Microsoft Office 2013 (نسخة تجريبية مجانية لمدة 30 يومًا) للاستخدام الفوري. · نظام التحكم في درجة الحرارة القائم على Labview ( EQ-MTS01 ) تمكن المستخدم من تحرير ملف تعريف درجة الحرارة ، وإدارة وصفة المعالجة الحرارية ، وتسجيل بيانات المؤامرة لأفران MTI. · يوفر جهاز التحكم عن بعد اللاسلكي نطاق تشغيل يصل إلى 300 متر. · تتوفر الميزات المذكورة أعلاه عند الطلب بتكلفة إضافية (تصل إلى 1000 دولار). يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المعلومات. · ملحوظة: البرنامج متوافق فقط مع Tmax وحدة التحكم في درجة الحرارة Yudian
ملاحظات التطبيق وأمبير. تحذيرات	· تم تصميم أفران الأنبوب مع أنبوب الكوارتز للاستخدام في ظل التفريغ والضغط المنخفض & lt؛ 0.2 بار / 3 رطل / 0.02 ميجا باسكال. يمكن استخدام ضغوط الفراغ بأمان حتى 1000 درجة مئوية. يجب أن يقتصر معدل تدفق الغازات على العلامة & lt ؛ 200 SCCM (أو 200 مل / دقيقة) لتقليل الصدمات الحرارية للأنبوب. · انتباه : يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين على أسطوانة الغاز للحد من الضغط إلى أقل من 3 PSI للتشغيل الآمن. · تم تصميم مسند القدم لهذا الفرن للسحب لمسافات قصيرة على الأسطح المستوية