مدخل الطاقة
|
- أحادي الطور 220 فولت تيار متردد ، 50/60 هرتز
- 1000 واط (بما في ذلك مضخة التفريغ ومبرد الماء)
- إذا كان الجهد 110 فولت ، فيمكن طلب محول 1500 واط في TMAX.
|
مصدر الطاقة
|
- 13.5 ميجا هرتز ، 100 واط مولد الترددات اللاسلكية مع المطابقة اليدوية مدرج ومتصل برؤوس الرش
- وقت العمل المستمر:
- 100 وات: ≤ 1 ساعة
- 80 واط: ≤ 1.5 ساعة
- 70 وات: ≤ ساعتان
- 60 واط: ≤ 4 ساعات
- 50 وات: ≤ 8 ساعات
- نطاق التحميل: 0-80 قابل للتعديل. نطاق الضبط: -200j - 200j قابل للتعديل
- يمكن للمفتاح القابل للدوران تنشيط رأس رشاش واحد في كل مرة. يمكن تبديل رؤوس الرش "في البلازما" (بدون انقطاع للفراغ والبلازما أثناء عملية متعددة الطبقات)
- مع مصدر طاقة تيار مستمر ، يمكن تعديل المغطي بسهولة إلى مصادر رشاش تيار مستمر مقاس 1 بوصة لترسيب الفيلم المعدني ، مما يتيح ثلاثة تكوينات للتيار المستمر ، وتردد لاسلكي / اثنين تيار مستمر ، واثنين من تكوينات رأس رشاش RF / واحد (الصورة اليسرى السفلية. الرجاء التحديد من خيارات المنتج)
- يتوفر مولد الترددات اللاسلكية الاختياري ذو المطابقة التلقائية 300 واط بتكلفة إضافية
|
رأس الاخرق المغنطروني
|
- يتم تضمين ثلاثة رؤوس رش مغنطرون مقاس 1 بوصة مع سترات تبريد المياه وإدخالها في غرفة الكوارتز عبر مشابك سريعة
- يمكن شراء استبدال كابل التردد اللاسلكي من TMAX
- تم بناء مصراع واحد يتم تشغيله يدويًا على الحافة (انظر الصورة رقم 3)
- يتم تضمين مبرد مياه معاد تدويره رقميًا بسعة 10 لتر / دقيقة لتبريد رؤوس الرش
|
الهدف الاخرق
|
- متطلبات الحجم المستهدف: 1 "قطر × 1/8" سمك كحد أقصى
- نطاق مسافة الاخرق: 50-80 مم قابل للتعديل
- نطاق زاوية الاخرق: 0 - 25 درجة قابلة للتعديل
- 1 "قطر الهدف النحاس و 2 ا 3 الهدف مدرج للاختبار التجريبي
- تتوفر أهداف رش مختلفة من أكسيد 1 بوصة عند الطلب بتكلفة إضافية
- للربط المستهدف ، يتم تضمين لوحات دعم نحاسية 1 مم و 2 مم. يمكن طلب إيبوكسي فضي (صورة رقم 1) وألواح دعم نحاسية إضافية (صورة رقم 2) في TMAX
|
غرفة فراغ
|
- غرفة التفريغ: 256 مم OD × 238 مم ID × 276 مم الارتفاع ، مصنوعة من الكوارتز عالي النقاء
- شفة الختم: 274 ملم ديا. مصنوعة من الألومنيوم مع حلقة سيليكون عالية الحرارة
- يتم تضمين قفص درع من الفولاذ المقاوم للصدأ للحماية بنسبة 100٪ لإشعاع التردد اللاسلكي من الغرفة
- الحد الأقصى لمستوى التفريغ: 1.0E-5 Torr مع مضخة توربو اختيارية وخبز الغرفة
|
حامل العينة
|
- حامل العينة عبارة عن مرحلة قابلة للدوران وقابلة للتسخين مصنوعة من سخان سيراميك مع غطاء من الفولاذ المقاوم للصدأ
- حجم حامل العينة: 50 مم ديا. إلى عن على. رقاقة 2 بوصة كحد أقصى (انظر الصورة أدناه)
- سرعة الدوران: 1-10 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل لطلاء موحد
- درجة حرارة الحامل قابلة للتعديل من RT إلى 600 درجة مئوية كحد أقصى (5 دقائق كحد أقصى عند 600 درجة مئوية ؛ ساعتان كحد أقصى عند 500 درجة مئوية) بدقة +/- 1.0 درجة مئوية عبر وحدة تحكم في درجة الحرارة الرقمية
|
مضخة فراغ
|
- تم بناء منفذ فراغ KF40 للتوصيل بمضخة تفريغ.
- مستوى الفراغ: 1.0E-2 Torr مع مضخة ميكانيكية ثنائية المرحلة مرفقة
- 1.0E-5 Torr مع مضخة توربو اختيارية
|
اختياري
|
- مستشعر سمك الكوارتز الدقيق اختياري. يمكن تركيبه في الحجرة لمراقبة سماكة الطلاء بدقة 0.1 Å (التبريد بالماء مطلوب)
- اتصال USB سهل بجهاز الكمبيوتر لمراقبة السماكة وسرعة الطلاء عن بُعد
- يتم تضمين 5 أجهزة استشعار الكوارتز (الاستهلاكية)
- جهاز التحكم عن بعد بجهاز التحكم بدرجة الحرارة اختياري
- اتصال USB سهل بجهاز الكمبيوتر للتحكم في درجة الحرارة عن بعد
- يتم تضمين برنامج التحكم في درجة الحرارة. الوحدة متوافقة مع LabView
- من أجل رش المغنطرون DC ، يوصى باستخدام مضخة توربو (صورة رقم 3)
- الاخرق التفاعلي مع N. 2 أو س 2 متاح مع محطة التحكم في خلط الغاز الاختيارية.
|
بحجم
|
- 540 مم طول × 540 مم عرض × 1000 مم ارتفاع
|
الوزن الصافي
|
|
امتثال
|
- موافقة CE
- شهادة MET (UL 1450) متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية ، يرجى الاتصال بممثل المبيعات لدينا للحصول على عرض أسعار.
|
ضمان
|
- ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة
|
ملاحظات طلب التقديم
|
- تم تصميم هذا المغطي بالرش المغنطروني المدمج 1 "RF لطلاء أغشية الأكسيد الرقيقة على ركائز بلورية أحادية أكسيد ، والتي عادة لا تحتاج إلى إعداد فراغ عالي
- يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين (غير مدرج) على أسطوانة الغاز للحد من ضغط إخراج الغاز إلى أقل من 0.02 ميجا باسكال للاستخدام الآمن. الرجاء استخدام & GT. 5N نقاوة Ar غاز الاخرق البلازما
- للحصول على أفضل قوة التصاق طبقة رقيقة ، يرجى تنظيف سطح الركيزة قبل الطلاء:
- التنظيف بالموجات فوق الصوتية باستخدام الحمامات المتتابعة التالية - (1) أسيتون ، (2) كحول الأيزوبروبيل - لإزالة الزيت والشحوم. قم بتفريغ الركيزة باستخدام N2 ، ثم قم بالخبز الساخن في الفراغ لإزالة الرطوبة الممتصة
- قد تكون هناك حاجة إلى تنظيف البلازما لتخشين السطح ، أو تنشيط الروابط الكيميائية السطحية ، أو إزالة التلوث الإضافي
- يمكن تطبيق طبقة عازلة رقيقة (حوالي 5 نانومتر) ، مثل Cr ، Ti ، Mo ، Ta ، لتحسين التصاق المعادن والسبائك
- للحصول على أفضل أداء ، يجب تثبيت الأهداف غير الموصلة بلوحة دعم نحاسية. يرجى الرجوع إلى فيديو التعليمات أدناه (# 3) للربط الهدف
- يوفر TMAX ركيزة بلورية مفردة من الألف إلى الياء
- لقد نجحت مغطيات الرش بالبلازما TMAX RF في طلاء ZnO على Al 2 ا 3 الركيزة عند 500 درجة مئوية (ملف تعريف XRD في صورة رقم 5)
- اختبار مرونة الأغشية الرقيقة / القطب المطلي مع EQ-MBT-12-LD مغزل الانحناء اختبار .
- الجهد العالي! رؤوس الرش تتصل بالجهد العالي. من أجل السلامة ، يجب على المشغل إيقاف تشغيل مولد الترددات اللاسلكية قبل تحميل العينة وعمليات تغيير الهدف
- لا تستخدم ماء الصنبور في مبرد الماء. استخدم المبرد ، ماء DI ، الماء المقطر ، أو المواد المضافة المضادة للتآكل بالماء
|