فئات المنتجات

اتصل بنا

  • إذا كانت لديك أسئلة، يرجى الاتصال بنا، وسيتم الرد على جميع الأسئلة
  • WhatsApp : +86 13003860308
  • البريد الإلكتروني : David@tmaxcn.com
  • البريد الإلكتروني : Davidtmaxcn@gmail.com
  • إضافة : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
المنتجات
Sputtering Coater

مختبر 3 رؤساء 1 بوصة RF البلازما المغنطرون الاخرق آلة المغطي مع DC Magnetron الاخرق

  • Model Number:

    VTC-3RF
  • ميناء الشحن:

    Xiamen
  • MOQ:

    1
  • الدفع:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
تفاصيل المنتج

3 رؤوس مدمجة 1 بوصة RF مغطي بالبلازما المغنطرون ، مع خيار الاخرق المغنطروني DC


VTC-3RF عبارة عن نظام رش مغنطرون بلازما بثلاثة رؤوس 1 "RF مصمم لطلاء الأغشية الرقيقة غير المعدنية ، بشكل أساسي للأغشية الرقيقة ذات الأكسيد متعدد الطبقات.إنه الأكثر فعالية من حيث التكلفة للبحث في الجيل الجديد من الأغشية الرقيقة للأكسيد. يتوفر خيار الاخرق المغنطروني DC عند الطلب لترسيب الفيلم المعدني ، مما يتيح تكوينات رأس رشاش RF / واحد RF / اثنين DC ، واثنين من تكوينات رأس رشاش RF / DC.


تحديد


مدخل الطاقة

  • أحادي الطور 220 فولت تيار متردد ، 50/60 هرتز
  • 1000 واط (بما في ذلك مضخة التفريغ ومبرد الماء)
  • إذا كان الجهد 110 فولت ، فيمكن طلب محول 1500 واط في TMAX.

مصدر الطاقة


  • 13.5 ميجا هرتز ، 100 واط مولد الترددات اللاسلكية مع المطابقة اليدوية مدرج ومتصل برؤوس الرش
  • وقت العمل المستمر:
    • 100 وات: ≤ 1 ساعة
    • 80 واط: ≤ 1.5 ساعة
    • 70 وات: ≤ ساعتان
    • 60 واط: ≤ 4 ساعات
    • 50 وات: ≤ 8 ساعات
  • نطاق التحميل: 0-80 قابل للتعديل. نطاق الضبط: -200j - 200j قابل للتعديل
  • يمكن للمفتاح القابل للدوران تنشيط رأس رشاش واحد في كل مرة. يمكن تبديل رؤوس الرش "في البلازما" (بدون انقطاع للفراغ والبلازما أثناء عملية متعددة الطبقات)
  • مع مصدر طاقة تيار مستمر ، يمكن تعديل المغطي بسهولة إلى مصادر رشاش تيار مستمر مقاس 1 بوصة لترسيب الفيلم المعدني ، مما يتيح ثلاثة تكوينات للتيار المستمر ، وتردد لاسلكي / اثنين تيار مستمر ، واثنين من تكوينات رأس رشاش RF / واحد (الصورة اليسرى السفلية. الرجاء التحديد من خيارات المنتج)
  • يتوفر مولد الترددات اللاسلكية الاختياري ذو المطابقة التلقائية 300 واط بتكلفة إضافية

رأس الاخرق المغنطروني


  • يتم تضمين ثلاثة رؤوس رش مغنطرون مقاس 1 بوصة مع سترات تبريد المياه وإدخالها في غرفة الكوارتز عبر مشابك سريعة
  • يمكن شراء استبدال كابل التردد اللاسلكي من TMAX
  • تم بناء مصراع واحد يتم تشغيله يدويًا على الحافة (انظر الصورة رقم 3)
  • يتم تضمين مبرد مياه معاد تدويره رقميًا بسعة 10 لتر / دقيقة لتبريد رؤوس الرش

الهدف الاخرق

  • متطلبات الحجم المستهدف: 1 "قطر × 1/8" سمك كحد أقصى
  • نطاق مسافة الاخرق: 50-80 مم قابل للتعديل
  • نطاق زاوية الاخرق: 0 - 25 درجة قابلة للتعديل
  • 1 "قطر الهدف النحاس و 2 ا 3 الهدف مدرج للاختبار التجريبي
  • تتوفر أهداف رش مختلفة من أكسيد 1 بوصة عند الطلب بتكلفة إضافية
  • للربط المستهدف ، يتم تضمين لوحات دعم نحاسية 1 مم و 2 مم. يمكن طلب إيبوكسي فضي (صورة رقم 1) وألواح دعم نحاسية إضافية (صورة رقم 2) في TMAX

غرفة فراغ

  • غرفة التفريغ: 256 مم OD × 238 مم ID × 276 مم الارتفاع ، مصنوعة من الكوارتز عالي النقاء
  • شفة الختم: 274 ملم ديا. مصنوعة من الألومنيوم مع حلقة سيليكون عالية الحرارة
  • يتم تضمين قفص درع من الفولاذ المقاوم للصدأ للحماية بنسبة 100٪ لإشعاع التردد اللاسلكي من الغرفة
  • الحد الأقصى لمستوى التفريغ: 1.0E-5 Torr مع مضخة توربو اختيارية وخبز الغرفة

حامل العينة

  • حامل العينة عبارة عن مرحلة قابلة للدوران وقابلة للتسخين مصنوعة من سخان سيراميك مع غطاء من الفولاذ المقاوم للصدأ
  • حجم حامل العينة: 50 مم ديا. إلى عن على. رقاقة 2 بوصة كحد أقصى (انظر الصورة أدناه)
  • سرعة الدوران: 1-10 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل لطلاء موحد
  • درجة حرارة الحامل قابلة للتعديل من RT إلى 600 درجة مئوية كحد أقصى (5 دقائق كحد أقصى عند 600 درجة مئوية ؛ ساعتان كحد أقصى عند 500 درجة مئوية) بدقة +/- 1.0 درجة مئوية عبر وحدة تحكم في درجة الحرارة الرقمية

مضخة فراغ

  • تم بناء منفذ فراغ KF40 للتوصيل بمضخة تفريغ.
  • مستوى الفراغ: 1.0E-2 Torr مع مضخة ميكانيكية ثنائية المرحلة مرفقة
  • 1.0E-5 Torr مع مضخة توربو اختيارية

اختياري

  • مستشعر سمك الكوارتز الدقيق اختياري. يمكن تركيبه في الحجرة لمراقبة سماكة الطلاء بدقة 0.1 Å (التبريد بالماء مطلوب)
    • اتصال USB سهل بجهاز الكمبيوتر لمراقبة السماكة وسرعة الطلاء عن بُعد
    • يتم تضمين 5 أجهزة استشعار الكوارتز (الاستهلاكية)
    • جهاز التحكم عن بعد بجهاز التحكم بدرجة الحرارة اختياري
    • اتصال USB سهل بجهاز الكمبيوتر للتحكم في درجة الحرارة عن بعد
    • يتم تضمين برنامج التحكم في درجة الحرارة. الوحدة متوافقة مع LabView
  • من أجل رش المغنطرون DC ، يوصى باستخدام مضخة توربو (صورة رقم 3)
  • الاخرق التفاعلي مع N. 2 أو س 2 متاح مع محطة التحكم في خلط الغاز الاختيارية.

بحجم

  • 540 مم طول × 540 مم عرض × 1000 مم ارتفاع

الوزن الصافي

  • 60 كجم

امتثال

  • موافقة CE
  • شهادة MET (UL 1450) متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية ، يرجى الاتصال بممثل المبيعات لدينا للحصول على عرض أسعار.



ضمان

  • ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة

ملاحظات طلب التقديم

  • تم تصميم هذا المغطي بالرش المغنطروني المدمج 1 "RF لطلاء أغشية الأكسيد الرقيقة على ركائز بلورية أحادية أكسيد ، والتي عادة لا تحتاج إلى إعداد فراغ عالي
  • يجب تركيب منظم ضغط من مرحلتين (غير مدرج) على أسطوانة الغاز للحد من ضغط إخراج الغاز إلى أقل من 0.02 ميجا باسكال للاستخدام الآمن. الرجاء استخدام & GT. 5N نقاوة Ar غاز الاخرق البلازما
  • للحصول على أفضل قوة التصاق طبقة رقيقة ، يرجى تنظيف سطح الركيزة قبل الطلاء:
    • التنظيف بالموجات فوق الصوتية باستخدام الحمامات المتتابعة التالية - (1) أسيتون ، (2) كحول الأيزوبروبيل - لإزالة الزيت والشحوم. قم بتفريغ الركيزة باستخدام N2 ، ثم قم بالخبز الساخن في الفراغ لإزالة الرطوبة الممتصة
    • قد تكون هناك حاجة إلى تنظيف البلازما لتخشين السطح ، أو تنشيط الروابط الكيميائية السطحية ، أو إزالة التلوث الإضافي
    • يمكن تطبيق طبقة عازلة رقيقة (حوالي 5 نانومتر) ، مثل Cr ، Ti ، Mo ، Ta ، لتحسين التصاق المعادن والسبائك
  • للحصول على أفضل أداء ، يجب تثبيت الأهداف غير الموصلة بلوحة دعم نحاسية. يرجى الرجوع إلى فيديو التعليمات أدناه (# 3) للربط الهدف
  • يوفر TMAX ركيزة بلورية مفردة من الألف إلى الياء
  • لقد نجحت مغطيات الرش بالبلازما TMAX RF في طلاء ZnO على Al 2 ا 3 الركيزة عند 500 درجة مئوية (ملف تعريف XRD في صورة رقم 5)
  • اختبار مرونة الأغشية الرقيقة / القطب المطلي مع EQ-MBT-12-LD مغزل الانحناء اختبار .
  • الجهد العالي! رؤوس الرش تتصل بالجهد العالي. من أجل السلامة ، يجب على المشغل إيقاف تشغيل مولد الترددات اللاسلكية قبل تحميل العينة وعمليات تغيير الهدف
  • لا تستخدم ماء الصنبور في مبرد الماء. استخدم المبرد ، ماء DI ، الماء المقطر ، أو المواد المضافة المضادة للتآكل بالماء

Plasma Sputtering Coater