نظام التبخير الحراري بأربعة مصادر بدقة

تحكم في درجة الحرارة

GSL-1700X-EV4 هو نظام تبخير حراري مدمج به 4 بوتقات بمصدر تبخير ودقة وتحكم في درجة الحرارة قابل للبرمجة. يمكن استخدام أربع بوتقات مبخرة لإيداع عدة مواد مختلفة لتنمية أغشية متعددة الطبقات واحدة تلو الأخرى في نفس الغلاف الجوي للغرفة. النظام مناسب لطلاء معظم أغشية المواد المعدنية والعضوية حتى حجم 2 بوصة من 200 درجة مئوية إلى 1500 درجة مئوية (أو 200 درجة مئوية - 1700 درجة مئوية مع مزدوج حراري اختياري من النوع B).

تحديد:

هيكل وأمبير. سمات	280 ملم OD × 260 ملم معرف حجرة كوارتز بارتفاع 310 مم لسهولة التنظيف وتحميل العينات مصادر التبخير القابلة للدوران بقطر 2 "لطلاء الفيلم الموحد سخان ملف التنغستن وبوتقة الألومينا للطلاء بدرجات حرارة عالية تصل إلى 1700 درجة مئوية تحكم دقيق في درجة الحرارة مع 30 قطعة قابلة للبرمجة ودقة +/- 1 درجة مئوية يمكن تحقيق فراغ عالي يصل إلى 1.0E-5 Torr عبر المضخة التوربينية الاختيارية تم بناء منفذ تدفق الغاز والصمام لتطهير الغرفة وإمكانية CVD
مدخل الطاقة	جهد الإدخال: تيار متردد 208 - 240 فولت 50/60 هرتز ، مرحلة واحدة (110 فولت تيار متردد متاح عبر محول 1500 واط) قوة الإدخال: 1200 واط طاقة الخرج :: 12 فولت ، و 30 أمبير كحد أقصى للتيار. العمل الحالي الموصى به & lt ؛ 30 أ كابل الطاقة مضمن بدون قابس
التحكم في درجة الحرارة وأمبير. دفايات	أربع بوتقات مبخرة من الألومينا بسعة 3 مل لكل منها. لا يمكن استخدام أربعة مصادر في نفس الوقت. سيتم عمل الإيداع متعدد الطبقات واحدًا تلو الآخر. سخان ملف التنغستن مع مزدوج حراري مدمج في الجزء السفلي من بوتقة الألومينا (للتحكم في درجة الحرارة (PIC. 1). يرجى الرجوع إلى الصورة اليسرى لمعرفة الأبعاد المزدوجة الحرارية من النوع القياسي (مضمنة ومركبة) - تسخين من 200 درجة مئوية إلى 1500 درجة مئوية (الموافقة المسبقة عن علم 2) مزدوج حراري اختياري من النوع B (بتكلفة إضافية) - تسخين من 1200 درجة مئوية إلى 1700 درجة مئوية متحكم رقمي واحد في درجة الحرارة مع 30 قطعة قابلة للبرمجة ودقة +/- 1 درجة مئوية (الموافقة المسبقة عن علم 3) إعدادات الوقت لجهاز التحكم في درجة الحرارة بالثواني. يوصى بالحد من معدل التسخين / التبريد إلى 0.3 درجة مئوية / ثانية (أو 20 درجة مئوية / دقيقة) أقل من 1200 درجة مئوية ، والحد من 0.15 درجة مئوية / ثانية (أو 10 درجة مئوية / دقيقة) من 1200 إلى 1700 درجة مئوية للتسخين المستمر فوق 1300 درجة مئوية ، يرجى تحديد وقت التشغيل إلى أقل من ساعة واحدة للحفاظ على عمر الخدمة للحلقة السفلية O-ring للطلاء السريع حتى 2000 درجة مئوية ، كما هو مطلوب في طلاء الكربون ، يمكن للمستخدم إزالة المزدوجة الحرارية ، والكتلة الحرارية الألومينا ، وبوتقة الألومينا ، وتحميل مادة التبخر مباشرة في سخان ملف التنغستن ، واستخدام وضع التحكم اليدوي الحالي (PIC.4) ) يتم تضمين أربع بوتقات من الألومينا (حتى 1700 درجة مئوية) واثنين من سخانات ملف التنغستن. يرجى الرجوع إلى القسم الاختياري لطلب قطع الغيار
حامل عينة قابل للتدوير	قطر واحد 50 ملم. يتم تثبيت مرحلة العينة القابلة للدوران ومصراعها على الحافة العلوية. سرعة الدوران: 5 دورة في الدقيقة المسافة من حامل العينة إلى مصدر التبخر قابلة للتعديل من 40 مم إلى 85 مم
نظام تحليل سماكة الفيلم (اختياري)	رقيقة رقيقة وأمبير. أنظمة تحليل الطلاء - يتوفر EQ-TFMS-LD بتكلفة إضافية.
مكنسة	يتم تركيب منفذ تفريغ KF25 للتوصيل بمضخة تفريغ قد يصل أعلى فراغ إلى & lt؛ 1E-5 Torr عن طريق الضخ طوال الليل بمضخة جزيئية توربينية اختيارية مطلوب مضخة فراغ للطلاء. الرجاء الاختيار من بين خيارات المنتج التالية مضخة فراغ دوارة دوارة مزدوجة المرحلة مع مصيدة بخار للتخلص من رذاذ الزيت ، والذي يمكن أن يصل إلى فراغ يصل إلى 1.0E-2 Torr لتبخير المواد المعدنية النبيلة ، مثل الذهب والفضة والمواد العضوية.
مدخل الغاز	تم بناء 1/4 أنبوب مناسب لتطهير الغرفة أو تشكيل معالجة الغاز صمام إبرة مدمج للتحكم في معدل تدفق الغاز
اختياري	يمكن طلب سخان إضافي من الألومينا وملفائف التنغستن في TMAX بتكلفة إضافية
البعد الشامل
أبعاد غرفة الكوارتز	OD: 280 مم (11 بوصة) معرف: 260 مم (10.2 بوصات) الطول: 310 ملم (12.2 بوصة)
امتثال	شهادة CE
ضمان	ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع دعم مدى الحياة
الوزن الصافي	80 كجم
وزن الشحن وأمبير. أبعاد	200 رطل ، 40 بوصة × 30 بوصة × 32 بوصة
ملاحظات طلب التقديم	يمكن للمستخدم تحقيق الفراغ العالي المطلوب لتبخير بعض المواد تحقق من الحجرة والحلقة O والشفة بحثًا عن أي جسيم أو ألياف أو خدش. استخدم الأنسجة الخالية من النسالة والمبللة بكحول الأيزوبروبيل (IPA) لمسح السطح وتنظيفه استخدم شريط التسخين لخبز الحجرة عند 150 درجة مئوية وقم بالتسخين المسبق لسخان الملف والبوتقة عند 500 درجة مئوية أثناء الضخ بالمضخة التوربينية الاختيارية لمدة ساعتين على الأقل ضخ الغرفة طوال الليل دون تسخين إذا كانت هناك حاجة إلى فراغ أعلى من 1.0E-5 Torr لا تبدأ برنامج التسخين أو تكثف التيار يدويًا بدون حجرة مغلقة ومكنسة كهربائية! لا تفرج عن الفراغ أو تتوقف عن الضخ عندما يكون المغطي في عملية التبخر! أثناء تبريد السخان ، توقف عن الضخ أو حرر الفراغ فقط عندما تنخفض درجة الحرارة إلى أقل من 100 درجة مئوية!